GEM)系列:E40_(6).GEM系列E40编程语言基础.docx

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GEM系列E40编程语言基础

1.编程语言简介

在半导体制造设备控制系统(SECS/GEM)系列中,编程语言是实现设备控制和数据交换的核心工具。GEM系列E40编程语言主要用于设备与主机之间的通信,通过定义一系列的标准消息格式和通信协议,确保设备能够高效、准确地与主机进行数据交互。这种编程语言不仅支持基本的数据传输,还提供了丰富的功能来处理设备状态、故障诊断和实时监控等任务。

GEM系列E40编程语言基于SECS(SemiconductorEquipmentCommunicationStandard)标准,通常使用SECSI和SECSII两种

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