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基于硫系玻璃薄膜光波导制备工艺研究.pdf

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    摘要

    近年来，随着人们对光波导研究的不断深入以及制备出性能更加优良的光波

    导器件的需要，光波导制备技术受到了越来越多研究者的关注。硫系玻璃是以硫

    族元素为基础的无机非氧化物玻璃材料，具有高折射率，高非线性系数，良好

    红外透过率等特性。这些特性使得基于硫系玻璃制备的薄膜光波导对光有很好

    限域作用，便于集成，传输损耗低，性能稳定。同时在近红外光通信和中红外区

    域具有优良的透光性能和较强的非线性。

    本文具体工作如下：

    首先，利用实验室仪器制备出Ge28Sb12Se60硫系

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