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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN104142351A
(43)申请公布日2014.11.12
(21)申请号CN201410328189.7
(22)申请日2014.07.10
(71)申请人深圳清华大学研究院;深圳瑞波光电子有限公司
地址518057广东省深圳市南山区高新技术产业园南区深圳清华大学研究院大楼A302
室
(72)发明人胡海夏虹赵楚中刘文斌李成鹏
(74)专利代理机构深圳市鼎言知识产权代理有限公司
代理人孔丽霞
(51)Int.CI
G01N21/95
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
半导体激光测试装置及测试方法
(57)摘要
本发明提供一种半导体激光测试装
置，其包括一个用于承载一个样品的导体
载物台、一个电源、一个正对该导体载物
台设置的光学系统及与该光学系统光学耦
合的一个激光光源、一个成像装置及一个
光谱仪。该电源包括一个阳极探针及一个
阴极探针，该电源用于通过该阳极探针及
该阴极探针向该样品输出一个工作电压以
使该样品电致发光(EL)。该激光光源用于
发射激光，该激光通过该光学系统投射在
该样品上以使该样品光致发光(PL)；该成
像系统用于通过该光学系统对EL或PL的
该样品成像；该光谱仪用于通过该光学系
统测量该样品EL或PL的波长。本发明还
提供一种半导体激光测试方法。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种半导体激光测试装置,其包括:
一个用于承载一个样品的导体载物台;
一个电源,包括一个阳极探针及一个阴极探针,该电源用于通过该阳极探针及该阴极
探针向该样品输出一个工作电压以使该样品电致发光(EL);
一个正对该导体载物台设置的光学系统;及
与该光学系统光学耦合的一个激光光源、一个成像装置及一个光谱仪;该激光光源
用于发射激光,该激光通过该光学系统投射在该样品上以使该样品光致发光(PL);该
成像系统用于通过该光学系统对EL或PL的该样品成像;该光谱仪用于通过该光学
系统测量该样品EL或PL的光谱波长。
2.如权利要求1所述的半导体激光测试装置,其特征在于,该光学系统包括:
一个正对该导体载物台设置的显微镜系统;
一个设置于该显微镜系统与该导体载物台相背一侧的分光装置,该分光装置与该显
微镜系统光耦合,并包括一个分光面;该成像装置设置在该分光面的发射光路上;及
一个设置在该分光面的透射光路上的Y形光纤,该Y形光纤包括一个正对该分光面
设置的收发端、一个出射端及一个入射端,该光谱仪正对该出射端设置且与该出射
端光耦合的光谱仪;该激光光源正对该入射端设置且于该入射端光耦合。
3.如权利要求1所述的半导体激光测试装置,其特征在于,该光学系统包括:
一个正对该导体载物台设置的显微镜系统;
一个设置于该显微镜系统与该导体载物台相背一侧的分光装置,该分光装置与该显
微镜系统光耦合,并包括一个分光面;该成像装置设置在该分光面的发射光路上;及
两根光纤及一个耦合透镜,该光谱仪通过其中一根光纤与该分光装置光耦合,该激光
光源通过另一根光纤及该耦合透镜直接与该样品光学耦合。
4.如权利要求1所述的半导体激光测试装置,其特征在于,该光学系统包括:
一个正对该导体载物台设置的显微镜系统;
一个设置于该显微镜系统与该导体载物台相背一侧的分光装置,该分光装置与该显
微镜系统光耦合,并包括一个分光面;该成像装置设置在该分光面的发射光路上;及
两根光纤及一个耦合透镜,该激光光源通过其中一根光纤与该分光装置光耦合,该光
谱仪通过另一根光纤及该耦合透镜直接与该样品光学耦合。
5.如权利要求1-4任一项所述的半导体激光测试装置,其特征在于,该显微镜系统包
括一个物镜,该物镜包括一个正对该导体载物台的第一端及一个与第一端相背的第
二端。
6.如权利要求1-4任一项
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