原创力文档- 1、本文档共9页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
2
YS/T×××—××××
镍铬合金蒸发料
1范围
本文件规定了镍铬合金蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体行业用的镍铬合金蒸发料（以下简称蒸发料）。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T8647（所有部分）镍化学分析方法
GB/T8888重有色金属加工产品的包装、标志、运输、贮存和质量证明书
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4分类和标记
4.1产品分类
产品为片状或柱状的颗粒。其牌号、形状、规格应符合表1的规定，供货状态为加工态。
表1产品牌号、形状、规格
牌号
形状
规格mm
直径
厚度
宽度
长度
NiCr10-99.95NiCr10-99.99NiCr20-99.95NiCr20-99.99
片状
0.10～5.00
5.00～10.00
5.00～10.00
柱状
2.00～8.00
—
—
3.00～10.00
4.2产品标记
产品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。示例1：
用NiCr10-99.95牌号制造的、厚度为1.00mm、宽度为5.00mm、长度为5.00mm的片状产品，标记为：片状蒸发料YS/TXXXXNiCr10-99.95-1.00×5.00×5.00
示例2：
用NiCr10-99.99牌号制造的、直径为3.0mm、长度为3.0mm的柱状产品，标记为：
3
YS/T×××—××××
柱状蒸发料YS/TXXXXNiCr10-99.99-φ3.0×3.0
5技术要求
5.1化学成分
蒸发料的化学成分应符合表2的规定。
表2化学成分
牌号
主要元素含量（质量分数）%
杂质含量（质量分数）10-6%，不大于
（Ni+Cr）a
Cr
Al
Fe
Mg
Mn
Si
Ti
V
Zr
杂质总和b
NiCr10-99.95
余量
9.5-10.5
100
100
50
50
100
30
200
30
500
NiCr10-99.99
余量
9.5-10.5
80
50
30
50
100
50
30
30
100
NiCr20-99.95
余量
19.5-20.5
100
100
50
50
100
30
200
30
500
NiCr20-99.99
余量
19.5-20.5
80
50
30
50
100
50
30
30
100
注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商执行。
a镍铬合金蒸发料的镍铬元素含量为100%减去表中所列杂质实测值之和的余量。b杂质总和为表中所列杂质实测值之和。
5.2外形尺寸及其允许偏差
5.2.1厚度及其允许偏差
蒸发料片状产品的厚度及其允许偏差应符合表3的规定。
表3厚度及其允许偏差
单位为毫米
厚度
厚度允许偏差
0.10～1.00
±0.05
1.00～2.00
±0.10
2.00～5.00
±0.20
注：需方有其他厚度要求的，由供需双方协商执行。
a全为正或全为负时为表中偏差2倍。
5.2.2宽度及其允许偏差
蒸发料片状产品的宽度及其允许偏差为±0.50mm，需方有其他宽度要求的，由供需双方协商执行。全为正或全为负时为偏差值的2倍。
5.2.3长度及其允许偏差
蒸发料的长度及其允许偏差为±0.50mm，需方有其他长度要求的，由供需双方协商执行。全为正或全为负时为偏差值的2倍。
4
YS/T×××—××××
5.2.4直径及其允许偏差
蒸发料柱状产品的直径及其允许偏差为±0.20mm，需方有其他直径要求的，由供需双方协商执行。全为正或全为负时为偏差值的2倍。
5.3外观质量
5.3.1蒸发料的表面应光滑、洁净、平整、无氧化，表面色泽应均匀一致。不允许有裂纹、起皮、气泡、分层、夹杂物等缺陷，但允许有轻微的、局部的、其尺寸不超过厚度允许偏差的表面划伤、凹坑和辊印。
5.3.2产品表面应清洁、无油污和锈蚀，应无颗粒附加物和其他沾污。5.3.3产品端面或表面允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。
6试验方法
6.1化学成分
蒸发料中Al、Fe、Mg、Mn、Si、Cr含量的分析方法按照GB/T8647（所有部分）的规定进
文档评论（0）