2024年扫描电镜实验报告.doc

试验汇报

學院：专业：班级：

姓名

學号

试验组

试验時间

10/5/12

指导教師

成绩

试验项目名称

扫描電镜

试验目的

結合扫描電镜实物，简介其基本构造和工作原理，加深對扫描電镜构造及原理的理解。

选用合适的样品，通過對样品形貌衬度和原子序数衬度的观测，理解扫描電镜图像衬度原理及其应用。

试验规定

简述扫描電镜的基本构造及特點。

举例阐明扫描電镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。

试验原理

在扫描電镜中，成象的信息重要是電子信息，根据近代的電子工业技术水平，虽然高速变化的電子信息，也能毫不困难的及時接受、处理和储存，故可進行某些動态過程的观测，假如在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通過電视装置，观测相变、断烈等動态的变化過程。用扫描電镜观测厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。

扫描電镜重要有真空系统，電子束系统以及成像系统。真空系统重要包括真空泵和真空柱两部分。電子束系统由電子枪和電磁透镜两部分构成，重要用于产生一束能量分布极窄的、電子能量确定的電子束用以扫描成象。電磁透镜：热发射電子需要電磁透镜来成束，因此在用热发射電子枪的扫描電镜上，電磁透镜必不可少。一般會装配两组：汇聚透镜、物镜（物镜為真空柱中最下方的一种電磁透镜，它负责将電子束的焦點汇聚到样品表）。電子通過一系列電磁透镜成束後，打到样品上与样品互相作用，會产生次级電子、背散射電子、欧革電子以及X射线等一系列信号。因此需要不一样的探测器譬如次级電子探测器、X射线能谱分析仪等来辨别這些信号以获得所需要的信息。

工作原理：右图是扫描電镜的原理示意图。由最上边電子枪发射出来的電子束，經栅极聚

扫描電镜原理示意图

焦後，在加速電压作用下，通過二至三個電磁透镜所构成的電子光學系统，電子束會聚成一种细的電子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下使電子束在样品表面扫描。由于高能電子束与样品物质的交互作用，成果产生了多种信息：二次電子、背反射電子、吸取電子、X射线、俄歇電子、阴极发光和透射電子等。這些信号被對应的接受器接受，經放大後送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。由于通過扫描线圈上的電流是与显像管對应的亮度一一對应，也就是說，電子束打到样品上一點時，在显像管荧光屏上就出現一种亮點。扫描電镜就是這样采用逐點成像的措施，把样品表面不一样的特性，按次序，成比例地转换為视频信号，完毕一帧图像，從而使我們在荧光屏上观测到样品表面的多种特性图像。

试验仪器

電子扫描显微镜、试样、导電胶

试验环节

制作好试样、打開電子扫描電镜

用导電胶固定试样在载物台上

放好试样後，抽真空，调整试样的距离、扫描的衬度和最佳倍数

选择不一样倍数，照像

试验数据

试验總結

可以不一样程度的看到试样的外观形貌和表面组织，對断裂的不一样区域可以看清晰。纤维区、放射区、瞬断区三個区域中，放射区占得比例大為脆断。韧涡的中心一般是第二相粒子。不一样的程度体現出表面不一样的形貌组织。

指导教師意見

签名：年月曰