《电子级正硅酸甲酯》.pdfVIP

T/FSIxxx—xxxx

ICS31.030

CCSL90

团体标准

T/FSIxxx—xxxx

电子级正硅酸甲酯

ElectronicGradeMethylOrthosilicate（Tetramethylorthosilicate）

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国氟硅有机材料工业协会发布

T/FSIxxx—xxxx

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由中国氟硅有机材料工业协会提出。

本文件由中国氟硅有机材料工业协会标准化委员会归口。

本文件起草单位：湖北新蓝天新材料股份有限公司、长飞石英技术（武汉）有限公司、中蓝晨光

成都检测技术有限公司、中蓝晨光化工研究设计院有限公司。

本文件主要起草人：冯琼华、黄天次、朱继红、谢鹏、陈敏剑、胡俊中、肖俊平。

本文件版权归中国氟硅有机材料工业协会。

本文件由中国氟硅有机材料工业协会标准化委员会解释。

本文件为首次制定。

I

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电子级正硅酸甲酯

1范围

本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸甲酯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、

运输及贮存的要求。

本标准适用于以硅粉直接法合成，或以四氯化硅和甲醇为原料酯化反应生成的正硅酸甲酯。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适

用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB191包装储运图示标志

GB/T3143液体化学产品颜色测定法（Hazen单位——铂-钴色号）

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T4472—2011化工产品密度、相对密度的测定

GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

GB/T11446.1电子级水

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T26793库仑法微量水分测定仪

GB/T43965—2024电子级正硅酸乙酯

GB50472电子工业洁净厂房设计规范

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

电子级正硅酸甲酯产品的质量应符合表1的要求。

表1技术要求

项目指标

正硅酸甲酯（Si(OCH)）纯度/%