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TOPCon 电池工艺流程.pptx

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TOPCon电池工艺流程;一.TOPCon电池结构;二.TOPCon电池工艺流程;三.图解电池工艺流程;1.制绒

;2.正面硼扩散

;3.正面刻蚀/背面刻蚀

;4.磷扩

;5.氮化硅钝化

;

6.LPCVD用加热的方式,在低压条件下使气态化合物在硅片表面反应并沉积成固体薄膜

;7.双面金属化

;谢谢观赏与指导2024/05/17

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