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TEM实验报告

学院：材料科学与工程学院

班级：材型1202

学生：刘玉蒙

学号：************

时间：2015年7月

实验报告

一、实验目的与任务

1.初步了解透射电镜操作过程。

2.初步掌握样品的制样方法。

3.学会分析典型组织图像。

二、透射电镜的结构与原理

透射电镜以波长极短的电子束作为光源，电子束经由聚光镜系统

的电磁透镜将其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品，再经成像系统

的电磁透镜成像和放大，然后电子束投射到主镜简最下方的荧光屏上

而形成所观察的图像。在材料科学研究领域，透射电镜主要可用于材

料微区的组织形貌观察、晶体缺陷分析和晶体结构测定。

透射电子显微镜按加速电压分类，通常可分为常规电镜(100kV)、

高压电镜(300kV)和超高压电镜(500kV以上)。提高加速电压，可缩

短入射电子的波长。一方面有利于提高电镜的分辨率；同时又可以提

高对试样的穿透能力，这不仅可以放宽对试样减薄的要求，而且厚试

样与近二维状态的薄试样相比，更接近三维的实际情况。就当前各研

究领域使用的透射电镜来看，其主要三个性能指标大致如下：

加速电压：80～3000kV

分辨率：点分辨率为0.2～0.35nm、线分辨率为0.1～0.2nm

最高放大倍数：30～100万倍

尽管近年来商品电镜的型号繁多，高性能多用途的透射电镜不断

出现，但总体说来，透射电镜一般由电子光学系统、真空系统、电源

及控制系统三大部分组成。此外，还包括一些附加的仪器和部件、软

件等。有关的透射电镜的工作原理可参照教材，并结合本实验室的透

射电镜，根据具体情况进行介绍和讲解。以下仅对透射电镜的基本结

构作简单介绍。

1．电子光学系统

电子光学系统通常又称为镜筒，是电镜的最基本组成部分，是用

于提供照明、成像、显像和记录的装置。整个镜筒自上而下顺序排列

着电子枪、双聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧

光屏及照相室等。通常又把电子光学系统分为照明、成像和观察记录

部分。

2．真空系统

为保证电镜正常工作，要求电子光学系统应处于真空状态下。电镜

-5

的真空度一般应保持在10托，这需要机械泵和油扩散泵两级串联才

能得到保证。目前的透射电镜增加一个离子泵以提高真空度，真空度

-8

可高达133．322×10Pa或更高。如果电镜的真空度达不到要求会出

现以下问题：

(1)电子与空气分子碰撞改变运动轨迹，影响成像质量。

(2)栅极与阳极间空气分子电离，导致极间放电。

(3)阴极炽热的灯丝迅速氧化烧损，缩短使用寿命甚至无法正常

工作。

(4)试样易于氧化污染，产生假象。

3．供电控制系统

供电系统主要提供两部分电源，一是用于电子枪加速电子的小电

流高压电源；二是用于各透镜激磁的大电流低压电源。目前先进的透

射电镜多已采用自动控制系统，其中包括真空系统操作的自动控制，

从低真空到高真空的自动转换、真空与高压启闭的连锁控制，以及用

微机控制参数选择和镜筒合轴对中等。

(a)成像(b)电子衍射图谱

图明暗场成像的光路原理示意图

a)明场成像b)中心暗场成像

三、实验步骤

1、样品的制备

①磨样：将铝合金样品用1000或2000型号的砂纸磨至100左右；

②冲孔：把样品用打孔钳打孔，打出2个直径为3mm的小圆片；

③细磨：将这些小圆片在5000型号的砂纸上磨至50µm左右，去

毛刺；

④电解双喷减薄：将样品夹在双喷仪中进行双喷，当观察到观察

孔有光时，关闭电源，