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《TEM操作培训》课件.pptVIP

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*******************TEM操作培训本培训旨在帮助您深入了解透射电子显微镜(TEM)的操作原理和实践技能。通过理论讲解和实际操作,您将掌握TEM的基本操作流程,并能够独立完成样品制备、图像采集和分析等工作。TEM设备简介透射电子显微镜(TEM)是一种高分辨率显微镜,用于观察材料的微观结构和形态。它利用电子束穿透样品,并通过磁透镜聚焦形成图像。TEM广泛应用于材料科学、纳米科技、生物学、化学等领域,是研究材料微观结构和纳米材料的重要工具。TEM设备构成1电子枪产生高能电子束,用于照射样品。2电磁透镜控制电子束聚焦和偏转,形成清晰的图像。3样品台放置样品并可进行微调,以便于观察不同区域。4探测器接收电子束并转化为可视化的图像。TEM样品制备要求厚度要求样品厚度应小于100纳米,以便于电子束穿透。清洁要求样品表面应清洁无污染,避免影响图像质量。稳定要求样品应具有良好的稳定性,防止在电子束照射下发生形变或损坏。导电要求样品应具有良好的导电性,防止电子束积累电荷,导致图像失真。样品切片1切割将样品用超薄切片机切成薄片,厚度约为50-100纳米。2收集将切好的薄片收集在铜网格上。3清洗用乙醇或丙酮清洗样品,去除残留的切片液。切片步骤需要在超薄切片机上进行,这是一台精密仪器,操作需要谨慎小心。切片完成后,需要将样品进行清洗,去除残留的切片液,以便在TEM中观察。样品溅射1溅射的目的样品溅射的目的是为了提高样品的导电性和稳定性,使其在TEM观察过程中不会因为电子束照射而被破坏。2溅射的原理溅射是一种物理气相沉积技术,利用高能离子轰击靶材,使靶材表面的原子溅射出来,沉积在样品表面。3溅射的步骤将样品放入溅射仪选择溅射材料设置溅射时间和功率启动溅射仪溅射完成后,取出样品样品转移从切片机到溅射仪使用专用样品盒或载物台将样品从切片机转移到溅射仪,确保样品稳固并防止污染。从溅射仪到TEM样品杆将溅射好的样品从溅射仪中取出,轻轻地放置在TEM样品杆上,确保样品固定牢固。样品杆上样将带有样品的样品杆插入TEM腔室,进行下一步的观察实验。样品上样1清洁样品台使用酒精棉签擦拭样品台,确保清洁无污染2放置样品将样品小心地放置在样品台上,确保样品固定牢固3调整样品高度通过调节样品台高度,将样品放置在电子束路径的最佳位置上样步骤至关重要,直接影响观察效果。清洁样品台避免污染,放置样品时应确保稳定,调整样品高度让电子束穿过样品最薄处,才能获得清晰图像。TEM设备操作要求安全操作操作人员需穿戴实验室安全服,严格遵守实验室安全规范。清洁维护每次实验结束后,需清洁样品室和镜筒,保证设备清洁度。数据记录操作人员需及时记录实验参数和数据,确保实验结果可追溯。TEM设备电源开启检查电源确认电源线连接良好,电压稳定。打开电源开关轻轻按下电源开关,启动TEM设备。等待预热TEM设备需要一定时间预热,确保电子枪和真空系统稳定工作。监测状态密切关注设备运行状态,观察仪器面板上的指示灯和报警信息。真空系统检查1真空度检查检查真空泵工作状态2泄漏检查检查系统是否有漏气3真空度稳定性观察真空度是否稳定4记录记录真空度和泄漏情况真空系统检查非常重要,确保TEM正常运行。电子枪预热1电源接通将电子枪电源接通,并根据电子枪型号调节电压和电流。2预热时间电子枪需要预热一段时间才能达到最佳工作状态,预热时间通常为15-30分钟。3温度稳定预热过程中,要密切观察电子枪温度变化,确保温度稳定在设定范围内。光学系统校正1对中电子束方向与透镜轴线一致2聚焦调节透镜电流,使电子束聚焦3消像散消除成像系统中的像散4校正确保成像清晰锐利光学系统校正非常重要,确保图像质量和准确性。校正过程包括对中、聚焦、消像散等步骤,每个步骤都至关重要。样品上样调焦1插入样品将准备好的样品小心地插入TEM样品台的样品夹持器中。确保样品放置平整,避免样品台移动导致样品脱落。2粗调聚焦利用TEM的粗调旋钮,将样品聚焦到视野中央,以便清晰观察样品的整体形态和结构。3精细调焦使用精细调焦旋钮,调整样品到最佳聚焦状态,以便观察样品的微观细节和结构特征。样品观察选区通过调整镜筒和样品台,将目标区域置于视野中心,以便进行观察和分析。放大倍数根据需要调整放大倍数,以观察微观结构的细节,例如晶体结构,缺陷和纳米材料。聚焦通过调节焦距,使图像清晰锐利,以便更好地观察样品细节。亮度和对比度调整图像的亮度和对比度,以

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