《半导体装备用电容薄膜真空计对比法测试标准》团体标准征求意见稿.pdf

ICS23.160

CCSJ78T/GVS

团体标准

T/GVSXXX—2021

半导体装备用电容薄膜真空计对比法测试

标准

Testingstandardsforcontrastmethodofcapacitancediaphragmvacuum

gaugesinthesemiconductorequipment

（征求意见稿）

XXXX—XX—XX发布XXXX—XX—XX实施

广东省真空学会发布

T/GVSXXX—2021

引言

本标准按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结

构和起草规则》的规定起草。

本标准由季华实验室半导体技术研究部提出。

本标准由广东省真空学会归口。

本标准起草单位：季华实验室、暨南大学、佛山市佛欣真空技术有限公司、

中山共享光电真空技术有限公司、XXX、XXX。

本标准主要起草人：卫红、刘乔、侯少毅、胡强、胡琅、刘彭义、武文全、

陈科球、徐中武、XXX、XXX。

III

T/GVSXXX—2021

半导体装备用电容薄膜真空计对比法测试标准

1适用范围

本标准规定了半导体装备用电容薄膜真空计的范围、术语和定义、技术要求、

测试装置、测试方法、数据处理、复测时间等。

本标准规定的测试方法为待测真空计与标准真空计直接比较法，其中标准真

空计是经过校准的真空计，可溯源至真空原级标准或者国家标准，且配有符合

GB/T27025-2008要求的校准证书。

本标准适用于测量范围在0.1Pa~100kPa的半导体装备用绝压电容薄膜真

空计。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其

中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文

件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

JJF1001-2011通用计量属于及定义

JJF1008-2008压力计量名词属于及定义

GB/T3163-2007真空技术术语

GB/T34873-2017真空计与标准真空计直接比较校准

JJF1503-2015电容薄膜真空计校准规范

ISO/TS3567：2011（E）真空计-与标准真空计直接比对的标准（Vacuum

gauge-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge）

ISO/TS27893：2009（E）真空技术-真空计-与标准真空计直接比对校准结

果的不确定度评定（Vacuumtechnology-Vacuumgauge-Evaluationofthe

uncertaintiesofresultsofcalibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge）

真空技术手册（handbookofVacuumtechnology）中第13章全压真空计（Total

PressureVacuumGauge）和第15章校准和标准（CalibrationandStandards）

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