【英语版】国际标准 ISO/TR 19319:2003 EN 表面化学分析 欧杰电子能谱和 X 射线光电子能谱 确定横向分辨率、分析区域和分析仪查看的样品区域 Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution, analysis area, and sample area viewed .pdf

ISO/TR19319:2003ENSurfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution,analysisarea,andsampleareaviewedbytheanalyser是一个表面化学分析标准，主要涉及到Auger电子光谱学和X射线光电子光谱学，用于确定分析器所观察到的横向分辨率、分析区域和样品区域。

Auger电子光谱学是一种表面分析技术，它利用电子发射和能量分析来研究固体表面的化学组成和化学状态。通过测量发射电子的能量和数量，可以确定表面原子的化学态和电子状态。这种技术具有很高的灵敏度和分辨率，可以用于研究纳米级表面的化学性质。

X射线光电子光谱学是一种表面和材料分析技术，它利用X射线光子激发样品表面原子，产生电子发射，并通过分析发射电子的能量和数量来确定样品的化学组成和化学状态。这种技术可以提供关于样品表面元素种类和浓度的详细信息，并且具有很高的灵敏度和分辨率。

在ISO/TR19319:2003标准中，规定了使用Auger电子光谱学和X射线光电子光谱学进行表面化学分析时，需要确定和分析的一些参数，包括横向分辨率、分析区域和样品区域。这些参数对于确保分析的准确性和可靠性非常重要。

在确定这些参数时，分析器通常需要选择适当的观察角度、探测器和数据采集系统，以确保获得最佳的分析结果。还需要考虑样品的表面状态、化学组成和元素分布等因素，以确保分析的准确性和可靠性。