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抛光机用空气静压轴承静态特性研究∗

摘要:空气静压主轴是抛光机的核心基础部件ꎬ为实现金刚石刀具抛光机用空气静压主轴刚度、承

载力等静态性能的提升ꎬ基于抛光过程中主轴的实际受力状态ꎬ采用数值模拟与实验验证的方式ꎬ

对静压主轴的静态特性进行研究ꎬ研制了用于抛光机的空气静压主轴ꎬ并开展了轴承的静态性能测

试实验ꎬ完成了静压轴承数值模拟结果的实验验证ꎮ实验结果表明ꎬ实验测试与数值求解结果具有

一致性ꎬ两者误差在１０％以内ꎮ设计的的空气静压轴承止推刚度与径向刚度分别为３３３Ｎ/μｍ和

１２０Ｎ/μｍꎬ承载力分别为２０２４Ｎ和７０４Ｎꎬ为保证抛光加工质量提供了良好的条件ꎮ

关键词:空气静压轴承ꎻ金刚石刀具抛光机ꎻ止推轴承ꎻ径向轴承

ＳｔｕｄｙｏｎＳｔａｔｉｃＣｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆＡｅｒｏｓｔａｔｉｃＢｅａｒｉｎｇｆｏｒＰｏｌｉｓｈｉｎｇＭａｃｈｉｎｅ

Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ａｅｒｏｓｔａｔｉｃｓｐｉｎｄｌｅｉｓｔｈｅｃｏｒｅｂａｓｉｃｃｏｍｐｏｎｅｎｔｏｆｐｏｌｉｓｈｉｎｇｍａｃｈｉｎｅ.Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅ

ｓｔｉｆｆｎｅｓｓａｎｄｂｅａｒｉｎｇｃａｐａｃｉｔｙｏｆｔｈｅａｅｒｏｓｔａｔｉｃｓｐｉｎｄｌｅｆｏｒｄｉａｍｏｎｄｔｏｏｌｓｐｏｌｉｓｈｉｎｇｍａｃｈｉｎｅꎬｂａｓｅｄｏｎｔｈｅａｃ￣

ｔｕａｌｓｔｒｅｓｓｓｔａｔｅｏｆｔｈｅｓｐｉｎｄｌｅｉｎｔｈｅｐｏｌｉｓｈｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓꎬｔｈｅｓｔａｔｉｃｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｅａｅｒｏｓｔａｔｉｃｓｐｉｎｄｌｅａｒｅ

ｓｔｕｄｉｅｄｂｙｍｅａｎｓｏｆｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｖｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎꎬｔｈｅａｅｒｏｓｔａｔｉｃｓｐｉｎｄｌｅｆｏｒｐｏｌｉｓｈｉｎｇ

ｍａｃｈｉｎｅｉｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄꎬｔｈｅｓｔａｔｉｃｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｔｅｓｔｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｏｆｔｈｅｂｅａｒｉｎｇｉｓｃａｒｒｉｅｄｏｕｔꎬａｎｄｔｈｅｅｘｐｅｒｉ￣

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ｔｗｅｅｎｔｈｅｍｉｓｌｅｓｓｔｈａｎ１０％.Ｔｈｅｔｈｒｕｓｔｓｔｉｆｆｎｅｓｓａｎｄｒａｄｉａｌｓｔｉｆｆｎｅｓｓｏｆａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇａｒｅ３３３Ｎ/μｍ

ａｎｄ１２０Ｎ/μｍ.Ｔｈｅｂｅａｒｉｎｇｃａｐａｃｉｔｙｉｓ２０２４Ｎａｎｄ７０４Ｎｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙꎬｗｈｉｃｈｐｒｏｖｉｄｅｓｇｏｏｄｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｆｏｒ

ｅｎｓｕｒｉｎｇｔｈｅｐｏｌｉｓｈｉｎｇｑｕａｌｉｔｙ.

Ｋｅｙｗｏｒｄｓ:ａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇꎻｄｉａｍｏｎｄｔｏｏｌｐｏｌｉｓｈｉｎｇｍａｃｈｉｎｅꎻｔｈｒｕｓｔｂｅａｒｉｎｇꎻｒａｄｉａｌｂｅａｒｉｎｇ

０引言性能指标ꎬ因此ꎬ设计主轴时ꎬ为了获得轴承的静态性

[１]能ꎬ对工作流场的分析是必要的ꎮ

金刚石刀具是超精密加工的理想工具ꎬ其前刀

目前国内外学者已经针对小孔节流器开展了大量

面表面质量会影响被加工工件的质量ꎮ抛光是获得金

[５]

刚石刀具前刀面高质量表面的一种重要技术ꎬ其加工的