《传感器原理及应用》课件_第4章.ppt

2.调相式

图4.24所示为调相式原理图。图中E、R分别为动栅尺上的发射电极和接收电极，发射电极每8片为一组，分别通以8个幅值为Um、角频率为ω、相位依次相差π/4的正弦激励电压；M、S分别为定栅尺上的反射电极和接地的屏蔽电极。当两个栅尺处于相对位置a时，每个发射电极片与反射电极片完全覆盖，所形成的电容量为C0。当两个栅尺相对移动x(x≤l0)而处于位置b时，每个发射电极片与反射电极片不完全覆盖，其电容量将发生变化。设反射电极片电压为uM，接收电极片电压为uR，反射电极片和接收电极片之间的电容量为CMR,接收电极片与地之间的电容量为CRG，则有

由上式可得(4.40)图4.24调相式原理图 4.5电容式集成传感器

4.5.1结构类型与工作原理

图4.25所示为加速度集成电容传感器的结构示意图，采用单晶硅表面加工技术和集成电路工艺技术制成。上下两层玻璃表面的金属镀层为固定极板，硅悬臂梁的自由端设置一质量块，并在其上下表面沉积金属电极，形成可动极板，从而构成差动电容器。图4.25加速度集成电容传感器图4.26所示为压力集成电容传感器的结构示意图，采用硅腐蚀技术、硅和玻璃的静电键合技术以及常规集成电路工艺技术制成。电容的一个极板在玻璃上，另一个极板在硅片的薄膜上。图4.26压力集成电容传感器4.5.2信号调理电路

图4.27所示为加速度集成电容传感器的开关转换电路原理图，由三个MOS开关、两个差动电容C1和C2(即差动电容传感器)以及一个反相器A组成采样保持电路和积分电路。图4.27开关转换桥路图4.28所示为压力集成电容传感器的四臂二极管桥路原理图。图中Cx为压力敏感电容，C0为参考电容。交流激励电压u通过耦合电容C接入由四个二极管(VD1～VD4)构成的桥路。在激励电压u的前半周期，电荷从B点通过VD2对Cx充电，同时也从A点经过VD3对C0充电。在激励电压u的后半周期，Cx上的电荷经VD1向A点放电，同时C0上的电荷也经VD4向B点放电。即在一个周期内，电荷QBA从B点经Cx转移到A点，同时电荷QAB从A点经C0转移到B点。被测压力使Cx改变一个微小量，则Cx≠C0，结果使QBA≠QAB，从而使A点和B点都有静电荷积累出现，导致两点的直流电位一个升高Uo/2、另一个减小Uo/2，反过来又减小了静电荷的积累，直至达到动平衡，静电荷积累结束，QBA=QAB。当耦合电容C较大时，其上的电压可以忽略，并令二极管的正向导通电压为Ud，则

由此解得(4.41)图4.28四臂二极管桥路4.5.3特点与应用

集成电容传感器的工作原理与机械敏感电容相同，只是集成电路工艺可以把间距和尺寸作得非常小，而且还可把信号调理电路和敏感电容集成在一起。它具有体积小、输出阻抗小、可批量生产、重复性好、灵敏度高、工作温度范围宽、功耗低、寄生电容小等优点，而且非常适合于CMOS制造技术，因此近年来得到了很大发展。但这种传感器如果不加以屏蔽，易受电磁干扰。加速度集成电容传感器已广泛应用于机械工具监控、工业振动监控、应急检测、汽车停车控制、汽车刹车控制、设备控制等。其量程为±50g，线性为±0.5%,带宽为1kHz。压力集成电容传感器在200Pa～5.7MPa测量范围内，当其封装良好时，信号调理电路的分辨率为0.0001pF。温度系数取决于所用材料和结构，低压时压力灵敏度ΔC/Pc约为8×10－6pF/Pa，比压阻式压力传感器的灵敏度(7.5×10－8～7.5×10－7pF/Pa)高约一个数量级。 思考题与习题

4.1根据参数的变化，电容式传感器有哪些类型？简述各种类型电容式传感器的工作原理。

4.2电容式传感器为什么多采用差动结构，差动结构有何特点？

4.3运算放大器电路如何解决变极距式电容传感器的非线性问题？

4.4简述电容式传感器调频电路的工作原理及输出特性。4.5简述双T形电路的工作原理，画出差动电容相等和不相等时的各点电压波形。

4.6简述脉冲调宽电路的工作原理和特点。

4.7说明调幅式容栅传感器的测量原理。

4.8什么是电容式集成传感器？它有何特点？

4.9有一变极距式电容传感器，两极板的相互覆盖面积为8cm2，两极板间的初始间距为1mm，极板间介质为空气，试求该传感器的位移灵敏度。

4.10变极距式差动电容传感器的初始电容量C1=C2=80pF，初始间距d0=4mm，若动极板相对定极板位移Δd=0.8mm，试求其灵敏度和非线性误差。若将差动结构改为单个平板电容器，其灵敏度和非线性误差为多大？4.11变极距式电容传感器的初始间距d0=1mm