《传感器原理及应用》课件_第9章.ppt

题9.12图9.13题9.13图为直射式光电转速传感器的原理图，被测轴上装有圆盘式光栅，圆盘两侧分别设置发光管(光源)和光电器件，简述该传感器测量转速的原理。题9.13图9.14试设计一个自动航标灯的控制电路，要求：

(1)由光电池和蓄电池联合供电；

(2)由日光照度自动打开关闭。 9.4电荷耦合器件(CCD)

电荷耦合器件(CCD,ChargeCoupledDevice)在固态图像传感器中的应用最为普遍，是在MOS器件的基础上发展起来的，可实现光电信号转换、存储、传输和检测的功能。CCD具有体积小、重量轻、结构简单和功耗小等特点，不仅在传真、文字识别、图像识别领域广泛应用，而且在现代测控技术中常用于检测物体的有无、形状、尺寸、位置等。

9.4.1CCD的结构与工作原理

1.CCD的结构

CCD的基本单元是MOD(金属氧化物半导体)电容，如图9.31所示。图9.31MOS电容的结构2.CCD的工作原理

CCD的突出特点是以电荷作为信号，工作过程包括电荷的注入、存储、传输和检测。

1)电荷存储

若MOS电容为P型硅(P-Si)衬底，当金属电极上施加正向电压UG时，P型硅中的多数载流子(空穴)受到金属中的正电荷(空穴)排斥，少数载流子(电子)被吸引到半导体表面形成带负电荷的耗尽层，又称为表面势阱。耗尽层对电子来说势能很低，可以吸收自由电子，栅极电压UG越高，耗尽层越深，势阱所能容纳的少数载流子就越多。存储信号电荷的势阱又称为电荷包，如图9.32所示。图9.32存储信号电荷的势阱2)电荷注入

电荷注入即信号电荷的产生，CCD中的信号电荷可通过光注入和电注入两种方式得到。当CCD用作固态图像处理时，接收的是光信号，电荷由光生载流子产生，即光注入。当光照射半导体时，若光子的能量大于半导体禁带宽度，就会被半导体吸收，产生光生载流子(电子-空穴对)，在栅极电压UG作用下，电子被势阱吸收，势阱内吸收的光生电子数与入射光强成正比，实现光信号与电信号的转换。

当CCD用作信息存储或信息处理时，采用电注入方式。电注入CCD就是通过输入电路对信号电压或电流进行采样,将信号电压或电流转换为信号电荷。3)电荷传输

CCD的MOS电容阵列排列很密，相邻MOS电容的势阱可以互相耦合。通过控制相邻MOS电容栅极电压的大小可

以调节势阱的深浅，信号电荷就会从势阱浅处流向势阱深处，即电荷传输。MOS电容栅极在一定规律的时钟脉冲控制下，势阱中的信号电荷将沿特定方向转移，实现信号电荷的定向传输。

4)电荷检测

电荷检测就是通过输出电路将信号电荷转换为电流或电压输出。9.4.2线阵CCD

线阵CCD用于获取一维光信息，由一列MOS光敏元和一列CCD移位寄存器构成，光敏元和移位寄存器之间为转移栅，如图9.33(a)所示。图9.33线阵CCD结构原理图9.4.3面阵CCD

面阵CCD的光敏元呈二维矩阵排列，能检测二维图像信息，其结构如图9.34所示。图9.34面阵CCD结构原理图9.4.4CCD的应用

CCD器件广泛应用于以下几个方面：

(1)计量检测仪器：工业产品尺寸、位置、缺陷的非接触测量、距离测定等；

(2)生产过程自动化：自动售货机、自动搬运机、监视装置等；

(3)光学信息处理：光学文字识别、标记识别、图像识别、传真、扫描等；

(4)军事科学：导航、跟踪、侦查等。

图9.35所示为线阵CCD在扫描仪中的应用。图9.35扫描仪原理图图9.36所示为X射线在线探伤系统的结构示意图。图9.36X射线在线探伤系统 9.5位置敏感器件(PSD)

位置敏感器件(PSD，PositionSensitiveDetector)是一种对入射到光敏面上光斑位置敏感的光电器件，其位置分辨率高，一维PSD可达0.2μm。PSD广泛应用于激光束监控(对准、位移和振动)、平面度检测、二维位置检测等系统中。

9.5.1PSD的结构与工作原理

根据检测对象的不同可将PSD分为两类：检测光斑直线运动的一维PSD和检测光斑平面运动的二维PSD。

1.一维PSD

图9.37所示为一维PSD的截面示意图，基本结构包括三层：上层为P型半导体，中间为高阻态Si衬底(I层)，下层为N型半导体。图9.37一维PSD的截面图图中电极1和2之间的距离为2L，电阻为2RL。当光照射到PSD的光敏层时，在入射位置产生与入射光能量成正比的光生电荷，形成光电流，通过电极输出。由于P层的电阻均匀，电极1和2输出的电流I1和I2分别与光斑到各电极的距离(或电阻)成反比，且有I0