超声辅助激光加工金属表面形性预测及作用机理研究.pdf

摘要

表面形性包括材料的表面三维形貌和功能性质，随着材料科学和机械行业的不

断发展，一些高端科技领域对材料的性能（物理属性、功能属性等）有了更高、更

特殊的要求，传统的机械加工工艺很难或无法满足这些特殊材料功能性表面的加工

需求。激光加工技术在这些需求的牵引下应运而生，并被大力发展。广大学者将超

声振动与激光技术相结合，有效的解决了传统激光加工中存在的存在热影响区大，

表面质量差等问题，并且能够在金属表面加工出具有特殊功能属性的微纳结构。

对于超声辅助激光加工金属表面形貌和功能性质的预测，关键的环节是要建立

系统的激光加工形貌数学模型。但目前对于超声振动辅助激光加工技术的研究主要

是基于实验开展的，将激光加工材料表面的三维形貌、功能属性与加工参数相结合

的理论模型尚不明确，没有完善的理论体系。基于此问题，本文针对以下几方面内

容展开研究。

（1）探究了纳秒激光在加工金属材料过程中激光能量与工件表面间相互作用规

律。提出了一种基于传热学的激光加工金属表面烧蚀阈值的理论计算方法，优化了

现有的脉冲激光烧蚀直径理论模型，并通过黄铜、铝、锌三种金属进行了烧蚀阈值

的实验验证。理论值与实验值相比烧蚀阈值的误差范围为1.38%-10.45%，烧蚀直径

的误差范围为0.79%-10.10%。

（2）基于传热学和几何数学，推导出了纳秒脉冲激光加工金属表面形貌的数学

模型。分别给出了纳秒激光单一脉冲烧蚀和连续脉冲叠加烧蚀金属材料表面重铸层

的数学模型，并通过实验验证了模型的可行性。单脉冲烧蚀凹坑直径和深度误差分

别为2.56%-7.14%和6.82%-18.91%，连续脉冲叠加烧蚀深度误差约为3.47%-12.47%。

（3）建立了横向超声振动复合激光烧蚀金属表面形貌的数学模型，通过数值模

拟分析了超声和激光频率对烧蚀轨迹形貌的影响，提出了特殊形貌制备的加工参数

选取规律，并通过实验验证了数学模型的可行性。实验结果表面烧蚀轨迹宽度和轨

迹循环长度的误差为2.18%-6.50%，烧蚀凹坑搭接率的误差为3.88%-19.62%。

（4）通过制备金属铝表面疏水性对本文建立的超声辅助激光烧蚀模型进行了验

证，并得到了一种降低表面粗糙度提高表面接触角的新方法。本文结合Cassie方程

分析了超声振动对激光加工金属表面疏水性能的影响，并采用扫描电子显微镜、白

光干涉三维轮廓仪和接触角测量仪对工件表面的微观结构、表面粗糙度和表面润湿

性进行了表征。研究发现，单一激光烧蚀和超声辅助激光烧蚀铝表面接触角最大值

分别为134.29°和154.21°，引入超声振动后最大接触角提高了14.83%，而表面算术

平均高度Sa降低了0.21-1.83μm。本文的研究成果将为超声激光加工金属材料表面

形貌规划以及功能属性预测提供理论基础。

关键词：超声振动辅助激光加工；烧蚀阈值；数学建模；疏水性；粗糙度

ABSTRACT

Withthecontinuousdevelopmentofmaterialscienceandmachineryindustry,some

high-endscienceandtechnologyfieldshavehigherandmorespecialrequirementson

materialproperties(physicalproperties,functionalproperties,etc.),andtraditional

mechanicalprocessingtechnologyisdifficultorimpossibletomeettheprocessingneedsof

functionalsurfacesofthesespecialmaterials.Laserprocessingtechnologyisdrivenby

thesedemandsandisbeingdevelopedwithgreatvigor.Thecombin