蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 编制说明.docx

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《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1、项目的必要性简述

蓝宝石图形化衬底是GaN外延生长的关键基板材料，对提高GaN外延结晶质量、降低位错密度，提高光电子器件出光效率具有显著效果。在《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》“先进半导体材料和新型显示材料”中的第290项有明确提及图形化衬底；《新材料标准领航行动计划（2018-2020年）》中明确要求建立第三代宽禁带半导体材料标准（（二（二）研制新材料“领航”标准，4、先进半导体材料））；科技部《“十三五”国家重点研发计划战略性先进电子材料重点专项实施方案》内容也包括第三代半导体材料与半导体照明。

以GaN基材料为代表的光电子器件是第三代半导体技术和产业发展最重要的分支。蓝宝石图形化衬底是其关键衬底材料，衬底材料在很大程度上决定了外延芯片的技术路线及品质，是下游关键元器件技术提升的重要基础。目前，作为第三代半导体材料体系中非常重要的材料，蓝宝石图形化衬底材料一方面在半导体照明行业的应用渗透率已超过98%。

近年来，国内蓝宝石图形化衬底片、GaN外延芯片行业发展迅速，国内产业规模也不断扩大，衬底及芯片的国产化率已超过85%，尤其是蓝宝石图形化衬底片，基本实现了全国产化。目前，我国蓝宝石图形化衬底片的产品性能指标已达到国际先进水平，制备技术拥有完全自主知识产权，在满足国内客户需求的同时，产品还出口到国外。

然而，作为国内现有产业体量大、产品稳定、技术先进的蓝宝石图形化衬底，目前却还没有国内行业统一的相关产品测试国家标准，为进一步推进和规范LED用PSS片的使用，改变蓝宝石图形化衬底片产品测试无行业内统一测试方法标准状态，完善第三代半导体材料标准体系建设，本标准的立项编制是十分有必要的，也是极其重要的。

2、任务来源

根据《国家标准化管理委员会关于下达2024年第一批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知))(国标委发[2024]16号)的要求，本项目计划编号为T-469，项目名称为：蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法，于2024年3月25日正式列入国家标准制定计划。立项初期的牵头起草单位为黄山博蓝特半导体科技有限公司，后变更为广东中图半导体科技股份有限公司。

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3、主要参加单位和工作成员及其所做工作

3.1主要参加单位情况

广东中图半导体科技股份有限公司位于广东东莞松山湖园区，于2013年12月成立，是一家面向蓝宝石上氮化镓半导体技术的专业衬底材料制造商，主要从事GaN半导体技术衬底结构材料的研发、生产与销售。目前，公司主要产品包括2至6英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）、图形化复合材料衬底（MMS）、AlN复合结构衬底等，主要应用于Mini/MicroLED、显示、背光源、照明、深紫外LED、GaN器件等领域。现已成为全球最大的GaN外延用衬底结构材料供应商之一。获得国家技术发明奖二等奖1项、教育部科技进步奖二等奖1项、中国光学学会光学科技奖一等奖1项、东莞市科技进步奖二等奖1项；并获得国家制造业单项冠军企业、国家“小巨人”专精特新企业、广东省工程技术研究中心、广东省专精特新企业、广东省民营企业创新产业化示范基地等多项荣誉称号。牵头完成《蓝宝石图形化衬底片》国家标准的制定并已批准发布。

4、主要工作过程

自任务下达后，黄山博蓝特半导体科技有限公司和广东中图半导体科技股份有限公司成立了《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》标准起草小组，项目小组根据标准制定的原则，立即开展了相关国内外资料、标准的整理和研讨工作。最终按照方法标准的编制原则、框架要求和国家的法律法规，编制完成国家标准《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》讨论稿。

二、标准编制原则和确定标准主要内容的论据

1.标准编制的原则

本标准按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的要求进行编写。标准编写过程中本着“科学、适度、可行”原则，既考虑标准的前瞻性又顾及企业的生产实际，同时，充分听取各方的意见，确保本标准既可以作为政府部门监督、指导生产的依据，又可以作为各生产企业切实可行的技术规范要求。

2.主要内容

本标准规定了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数测定方法的方法提要、仪器设备与环境、试样、测定步骤、检测流程、精度和偏差、测试报告等内容。

（1）范围

本标准规定了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。

本标准适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形与