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MEMS的主要材料及其性能参数
一、主题/概述
二、主要内容（分项列出）
1.小MEMS的主要材料
硅
氮化硅
聚合物
其他材料
2.编号或项目符号：
1.硅：作为MEMS中最常用的半导体材料，具有优异的机械性能和电学特性。
4.其他材料：如金刚石、碳纳米管等，具有特殊性能，适用于特定应用。
3.详细解释：
其他材料：金刚石具有极高的硬度和耐磨性，适用于高精度MEMS器件。碳纳米管具有优异的机械性能和电学特性，适用于高性能MEMS器件。
三、摘要或结论
本文对MEMS的主要材料及其性能参数进行了探讨。硅、氮化硅、聚合物等材料在MEMS制造中具有各自的优势和特点。了解这些材料的性能参数对于MEMS的设计和应用具有重要意义。
四、问题与反思
①MEMS材料的性能参数如何影响其应用领域？
②如何优化MEMS材料的性能，以适应更广泛的应用需求？
③新型MEMS材料的研究进展如何？
[1]，.微机电系统[M].北京：清华大学出版社，2018.
[2]，赵六.MEMS材料与工艺[M].上海：上海交通大学出版社，2019.
[3]李七，刘八.新型MEMS材料研究进展[J].电子元件与材料，2020，39（2）：110.
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