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单晶炉合炉及籽晶安装作业指导书.docVIP

单晶炉合炉及籽晶安装作业指导书.doc

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    文件名称

    单晶炉合炉及籽晶安装作业指导书

    文件编号：

    -001

    版本/修改：

    A01/00

    Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进

    PRODUCT产品：单晶硅棒

    签名

    隶属：单晶车间

    日期

    PAGE：第1页OF共2页

    目的

    规范合炉及籽晶的安装作业

    适用范围

    适用于合炉及籽晶的安装作业

    作业内容

    一·合好炉盖

    用沾有酒精的纸巾擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部；

    打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖；

    注意事项及原由

    在下降炉盖时一定要注意炉盖限位是否正常，防止与炉盖与保温盖接触，损坏石墨件；

    炉

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