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第四章半导体中载流子在电磁场中的运动;主要内容;一、电子的漂移运动;二、欧姆定律;ds表示A处与电流垂直的小面积元,小柱体的高为;n是电子浓度,q是电子电荷;平均漂移速度的大小与电场强度成正比:;电流密度决定于电子浓度、迁移率;四、半导体的电导率和迁移率;μn,μp分别代表电子和空穴迁移率;
Jn,Jp分别代表电子和空穴电流密度;
n,p分别代表电子和空穴浓度;本征:;例:求1×1×1cm3纯硅电阻。比较As、B掺杂后的电阻,掺杂原子与Si原子比例为1:109(1ppb);2.掺杂As:N型;§4.2载流子的散射;设τ1为第一次散射的时间,τ2…,τN为第N次散射的时间;外电场作用下载流子的漂移运动;二、载流子的平均自由时间τ与散射几率P的关系;△t→0时:;它们的自由时间总和为:;三、迁移率、电导率与平均自由时间的关系;在dt时间内,所有遭到散射的电子的速度总和为:;τn电子的平均自由时???;2.迁移率和电导率与平均自由时间的关系;电子电导率:;推导电导有效质量示意图;外加电场在z方向,;设导带电子浓度no,;→;—电导迁移率;←低温、掺杂浓度高;电离杂质散射示意图;电离杂质的散射几率Pi与温度T和杂质浓度Ni的关系:;对补偿型半导体:;2.晶格散射(格波散射);;●格波的能量:;平衡时;平衡时;膨胀状态—
原子间距增大;;纵声学波→原子疏密变化→附加形变势→能带极值变化→Eg变化;(3)光学波的散射
;平衡时;+++
-
++++
--
+++;纵光学波的散射几率Po:;对原子晶体:;(4)其他散射机构;几种散射机构同时存在时;§4-3迁移率及电阻率与温度和杂质浓度的关系;●纵声学波:;●纵光学波;2.实际材料μ的表达式;●Si、Ge;3.影响μ的因素;T;(2)杂质浓度Ni的影响;Ni;(3)m*的影响
;二、半导体材料电阻率与温度和杂质浓度的关系;1本征半导体材料;T;(1)ρ与ND的关系(T恒定);电阻率;●弱电离区;●饱和区;●本征区;补偿掺杂Si半导体:
以1017cm-3As原子掺杂,计算300K和400K下的电导率。
上述半导体进一步掺杂9×1016cm-3B原子,计算上述温度下的电导率。;§4-4波尔兹曼方程电导率统计理论;热平衡态(温度恒定均匀)的分布函数f0:;1.波尔兹曼方程;非平衡状态下Boltzman方程的一般形式:;1).稳态下的Boltzman方程:;2.驰豫时间近似;3.弱电场近似下Boltzman方程的解;可写成:;长声学波散射时:;§4-5强电场效应;●E<103V/cm时,J∝E,μ与E无关;;二、强电场效应的理论分析;平均漂移速度:;(2)较强电场103<E<105V/cm;∴平均漂移速度Vd与电场无关;7;极值点在坐标原点1:
mn*=0.067mo;;电场力:fE=qEy;(RH)P为P型材料的霍尔系数。;VH为霍尔电压;3.霍尔效应实验—空穴迁移率μ和电导率σ;二、N型半导体的霍尔效应;假设对N型半导体加的磁场、电场与P型相同,达到稳态,y方向无净电荷流动;Ex;两种载流子同时存在;三、两种载流子同时存在时霍尔效应;-y方向;+y方向;(2)y方向上的电子电流密度(Jn)y;(1)本征半导体:n=p=ni;1/T;(2)N型半导体;●温度再升高,少子浓度升高;1/T;(3)p型半导体;●过渡区;1/T;ND或NA升高,RH下降;四、霍尔效应应用;;由于磁场的存在引起电阻的增加,称这种效应为磁阻效应。;按机理分;磁阻的大小:;二、物理磁阻效应;VVx的空穴:;只考虑一种载流子的材料的磁阻效应,磁阻通常表示为:;2.同时考虑两种载流子;;此种磁阻表示为:;三、几何磁阻效应;;3.园盘形样品;四、磁阻效应的应用;第四章小结;四、强电场效应;第四章思考题与自测题
试从经典物理和量子理论分别说明散射的物理意义。
比较并区别下述物理概念:电导迁移率、霍耳迁移率和漂移迁移率。
什么是声子?它对半导体材料的电导起什么作用?
强电场作用下,迁移率的数值与场强E有关,这时欧姆定律是否仍然正确?为什么?
半导体的电阻系数是正的还是负的?为什么?
有一块本征半导体样品,试描述用以增加其电导率的两个物理过程。
如果有相同的电阻率的掺杂锗和硅半导体,问哪一个材料的少子浓度高?为什么?
光学波散射和声学波散射的物理机构有何区别?各在什么样晶体中起主要作用?
说明本征锗和硅中载流子迁移率温度增加如何变化?
电导有效质量和状态密度有何区别?
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