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第４２卷第３期电子显微学报Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．３

２０２３年６月ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｉｎｅｓｅＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙＳｏｃｉｅｔｙ２０２３-０６

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文章编号：１０００６２８１（２０２３）０３０３７６１０

多束电子光学系统的研究现状与发展

１１３１，２１，２∗１，２∗

张利新，赵伟霞，陈代谢，张雨露，刘俊标，韩立

（１．中国科学院电工研究所，微纳加工技术与智能电气设备研究部，北京１００１９０；２．中国科学院大学，

电子电气与通信工程学院，北京１０００４９；３．中国科学院条件保障与财务局，北京１００８６４）

摘要本文对多束电子光学系统的国内外研究现状进行了详细调研，总结了各个系统的特点以及应用领域。

多束电子光学系统在生命科学领域、材料领域以及半导体领域具有广泛的应用价值，本文指出了我国需要开展这

方面研究的必要性。同时，本文介绍了国内在多束电子光学领域的研究进展。

关键词电子光学；多束电子光学；高通量；扫描电子显微镜

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中图分类号：ＴＮ１４；ＴＮ１６；Ｏ４６３文献标识码：Ａｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００６２８１．２０２３．０３．０１４

扫描电子显微镜（ＳＥＭ）自１９４２年问世以来，已如果在一个ＳＥＭ系统中获得几十到几百束电子束

经有近８０年的历史，分辨率从最初的５０ｎｍ提高到并保持与单束ＳＥＭ相当的束斑质量，ＳＥＭ的通量将

了现在的亚纳米量级，应用领域从最初的显微成像随之被提高几十到几百倍。这是目前提高通量的

［１］［２］［６］

扩展到电子束检测、四维成像以及原位检可行方案之一。早在１９８４年，Ｒｏｅｌｏｆｓ和Ｂａｒｔｈ论

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［３４］证了多束电子光学光刻技术的可行性，并给出了相

测等，是显微成像领域不可替代的重要工具

之一。应的解决方案。目前多束ＳＥＭ主要有四种多束电

随着ＳＥＭ的发展，提高成像速度已成为一个重子光学结构形式，如图１所示。

要发展方向。提升高分辨成像速度存在着提高分第一种结构形式如图１ａ所示，将多个电子源小

辨率和增加单束束流的矛盾，即分辨率越高，越难型化并紧凑排列，再由单独的镜筒对每个子束进行

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以获得高束流。这主要是成像速度和单个像素的独立控制，称之为多源多镜筒［７１１］。此种形式的优

亮度成反比，束流高可以保证短的驻留时间。在一点是不受库仑作用力和交叉斑的影响，分辨率会更

些实际应用中，需要在保证高分辨能力前提下缩短高。缺点是子束之间的间距比较大，限制其多束的

成像时间，提高设备的通量（Ｔｈｒｏｕｇｈｐｕｔ），即单位时数目。此外，电子源之间很难做到发射一致、子束

间内能够形成高分辨图像的数量。例如，对一个之间的控制很难精确同步。