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302于志勇等，离子交换树脂制备超纯水工艺的影响因素研究Vol．36，No．4，2014
离子交换树脂制备超纯水工艺的影响因素研究
于志勇，宋小宁，方振鳌，许金刚，骆奇君
国网浙江省电力公司电力科学研究院,浙江杭州310014）
（
摘要：介绍了电子级超纯水精制混床离子交换树脂的特点，以出水电导率和总有机碳为考察指标，研究了进水质量、运行
流量和树脂粒度均匀性等主要因素对电子级超纯水精制混床离子交换树脂出水质量的影响。研究结果表明，出水质量随着进
水质量的提高而提高，运行流量控制在50～70BV/h时最佳，采用粒度更均匀的树脂出水质量和周期制水量更好。在一定的运
行条件下，电子级超纯水精制混床离子交换树脂完全能满足电子行业对出水水质的要求。
关键词：超纯水；电子级超纯水精制混床离子交换树脂；电导率；总有机碳
中图分类号：TQ425.233文献标识码：B文章编号：1001-0017（2014）04-0302-03
StudyontheAffectingFactorsofIonExchangeResinPreparingUltra-pureWaterTechnique
YUZhi-yong,SONGXiao-ning,FANGZhen-ao,XUJin-gangandLUOQi-jun
（ElectricPowerResearchInstitute,StateGridZhejiangElectricPowerCompany,Hangzhou310014,China）
Abstract:Thecharacteristicsofpolishingmixedbedionexchangeresinforelectron-levelultrapurewaterwasintroduced.Theinfluenceofmain
factorssuchasqualityofrawwater,flowandresinsizeuniformitytothequalityofproductwaterwerestudiedbasedonconductivityandTOC.Asa
result,thequalityofproductwaterimprovedwhiletherawwaterimproving,theoptimalflowwas50～70BV/h.Andtheresinsizewasmoreuniform,
theproductwaterwasbetter.Thepolishingmixedbedionexchangeresinforelectron-levelultrapurewatercouldmeettherequirementsofelectron－
icsindustryundersomeconditions.
Keywords:Ultrapurewater;polishingmixedbedionexchangeresinforelectron-levelultrapurewater;conductivity;TOC
将几种有机的结合起来，进一步提高出水水质。制
前言备超纯水使用UF+RO+IX的组合工艺已经十分成
熟，UF+RO+EDI+PMIX工艺也已经有了较多的应用
随着电子和半导体工业的发展，人们对生产中在生产超纯水工艺中，离子交换技术起到了关键性
所使用的超纯水的质量要求在不断地提高，超纯水的作用，随着UF、RO、ED
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