真空扩散焊接设备.docx

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真空扩散焊接设备

1范围

本文件规定了真空扩散焊接设备（以下简称“设备”）术语和定义、分类与设备参数、设备构成及技术指标、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等内容。

本文件适用于通过加热和施加压力促使材料原子间扩散连接的真空扩散焊接设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB2894安全标志及其使用导则

GB/T3163-2024真空技术术语

GB/T5226.1-2019机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件

GB/T7932气动对系统及其元件的一般规则和安全要求

GB/T8196-2018机械安全防护装置固定式和活动式防护装置的设计与制造一般要求

GB/T9452-2023热处理炉有效加热区测定方法

GB/T13306标牌

GB/T18443.2-2010真空绝热深冷设备性能试验方法第2部分：真空度测量

GB/T20438.1电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全第1部分：一般要求

GB/T41349机械安全急停装置技术条件

3术语和定义

GB/T3163-2024界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

真空扩散焊接vacuumdiffusionwelding

利用多轴加压结构以及扩散焊孔洞闭合模型，促使固态金属接合面达到原子间距离，进行原子互相扩散而实现焊接的固相结合过程。

4分类与参数

4.1设备按温区尺寸分为ZTF2、ZTF3、ZTF4、ZTF666、ZTF696、ZTF6624、ZTF1212、ZTF8825、ZTF241212共9种型号。

4.2设备基本参数见表1所示。

表1设备基本参数

设备型号

温区尺寸,mm

压力，T

最高温度，℃

ZTF2

200×200×200

10

1300

ZTF3

300×300×300

100

1300

ZTF4

400×400×400

200

1300

ZTF666

600×600×600

300

1300

ZTF696

600×900×600

500

1300

ZTF6624

600×600×2400

960

1300

ZTF1212

1200×1200×1200

1200

1300

ZTF8825

800×800×2500

2000

1300

ZTF241212

2400×1200×1200

3000

1300

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5设备构成及技术指标

5.1真空扩散焊接设备主要由机架、真空炉体系统、抽真空系统、加压系统、冷却系统、电气控制系统、水冷循环系统和产品输送系统组成。设备主视图如图1所示。

5.2设备主要技术指标如表2所示。

标引序号说明：1—机架；

2—真空炉体系统；

3—抽真空系统；

4—加压系统。

图1真空扩散焊接设备主视图

表2技术指标

系统名称

项目

指标

加压系统

最大焊接压力

900t

加压形式

液压缸

系统结构

四立柱

压力控制精度

≤0.3%额定值

压头、压板材料

TZM

压板平面度

≤0.08mm

上压头与支撑平台平行度

≤0.08mm

上压头行程

200mm

上压头位移控制精度

≤0.02mm

上、下压头最大开启高度

≥800mm

最小闭合高度

200mm

压板尺寸

1800mm×800mm×150mm

真空系统

炉内极限真空度

≤5×10Pa（冷态、空炉、充分烘炉后，扩散泵预热时间不计）

炉内工作真空度

≤5×10Pa

冷态压升率

≤0.5Pa/h

抽真空速率

≤45min到达工作真空度5×10Pa（冷态、空载、干燥状态，扩散泵

预热时间不计）

泵组数量

2套

真空炉体

炉内有效工作区尺寸

1800mm×800mm×500mm（宽×深×高）

结构

卧式圆型，前、后开门，前、后门齿圈锁紧（油缸），夹层水套冷却，

内外层材料均为304不锈钢，内壁精密抛光

加热系统

加热方式

方型全金属加热体、六面辐射加热

最高加热温度

1300℃

炉温均匀性

≤±3℃（600℃~1050℃)（空炉，9点测温）

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表2技术指标（续）

系统名称

项目

指标

升温速度

室温至1200℃,时间≤60min

加热元件

钼镧合金棒

加热温区数量

14温区

快冷系统

结构布局

外循环风冷系统

充气方式

手动、自动两种模式控制

冷却速度