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金刚石衬底研磨抛光技术的研究进展与未来方向
目录
金刚石衬底研磨抛光技术的研究进展与未来方向（1）．．．．．．．．．．．．4
一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2研究意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
二、金刚石衬底材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.1金刚石衬底的物理化学性质．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
2.2金刚石衬底的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
三、金刚石衬底研磨抛光技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
3.1研磨抛光基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
3.2金刚石衬底研磨抛光的特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
四、金刚石衬底研磨抛光技术的研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
4.1研磨技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
4.1.1研磨机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
4.1.2研磨材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
4.1.3研磨工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
4.2抛光技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
4.2.1抛光机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
4.2.2抛光材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
4.2.3抛光工艺参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
五、金刚石衬底研磨抛光技术存在的问题与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．18
5.1技术难点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
5.2质量控制问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
5.3环境影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
六、金刚石衬底研磨抛光技术的未来方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
6.1技术创新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
6.1.1新型研磨抛光机理研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
6.1.2新型研磨抛光材料研发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
6.2工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
6.2.1抛光工艺参数精确控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
6.2.2研磨抛光设备智能化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
6.3应用拓展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
6.3.1高精度金刚石衬底的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
6.3.2新型金刚石衬底材料的开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
七、结论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
7.1研究总结．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
7.2对未来研究的展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
金刚石衬底研磨抛光技术的研究进展与未来方向（2）．．．．．．．．．．．
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