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**高频(lMHz)激励电流,产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形成涡电流。与此同时,该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈,引起线圈自感L或阻抗ZL的变化,其变化与距离该金属板的电阻率ρ、磁导率μ、激励电流i,及角频率ω等有关,若只改变距离δ而保持其他系数不变,则可将位移的变化转换为线圈自感的变化,通过测量电路转换为电压输出。高频反射式涡流传感器多用于位移测量。涡流式传感器可分为高频反射式和低频透射式。二、涡流传感器类型1.高频反射式第30页,共44页,星期日,2025年,2月5日**低频透射式涡流传感器的工作原理如图所示,发射线圈ω1和接收线圈ω2分别置于被测金属板材料G的上、下方。2、低频透射式由于低频磁场集肤效应小,渗透深,当低频(音频范围)电压e1加到线圈ω1的两端后,所产生磁力线的一部分透过金属板材料G,使线圈ω2产生感应电动势e2。但由于涡流消耗部分磁场能量,使感应电动势e2减少,当金属板材料G越厚时,损耗的能量越大,输出电动势e2越小。因此,e2的大小与G的厚度及材料的性质有关,试验表明,e2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,如图所示,因此,若金属板材料的性质一定,则利用e2的变化即可测量其厚度。第31页,共44页,星期日,2025年,2月5日关于电感式传感器**第1页,共44页,星期日,2025年,2月5日**电感式传感器概念和类型电感式传感器是以电和磁为媒介,利用磁场的变化引起线圈的电感量或互感量的变化,把非电量转化为电量的装置(基于电磁感应原理)。按照转换方式的不同可分为自感式(包括可变磁阻式与涡流式)和互感式(差动变压器式)两种。第2页,共44页,星期日,2025年,2月5日**§5-1自感式传感器自感式传感器是利用线圈自身电感的改变来实现非电量与电量的转换。主要有变气隙型、变面积型、螺管插铁型。一、变磁路气隙式电感传感器组成:线圈、铁芯和衔铁组成。在铁芯与衔铁之间存在气隙δ。第3页,共44页,星期日,2025年,2月5日**根据磁路理论,磁通为:原理分析:根据电磁感应定律,当线圈中通以电流I时,产生磁通,其大小与电流成正比,线圈的自感量L为第4页,共44页,星期日,2025年,2月5日**线圈自感可用下式计算:磁路的磁阻主要是气隙δ产生的气隙磁阻,联立式(5-1)、(5-2)、(5-4),线圈的电感量为第5页,共44页,星期日,2025年,2月5日**线圈电感变化量(气隙减小)非线性误差灵敏度和线性度之间存在矛盾;一般变气隙式电感传感器只能在较小的气隙范围内变化微小的位移。因此只适用于微小位移量的检测,一般约为0.001~1mm。上式说明:当活动衔铁的位移很小时,线圈的电感变化量与位移量成线性关系。其灵敏度为第6页,共44页,星期日,2025年,2月5日**原理1.灵敏度是一常数;2.在一定范围内不存在非线性;3.当正反方向变化相同的x时,其电感变化量具有对称性。但当xa时就不再存在直线关系,其线性范围是有限的。结论二、变磁路截面积式自感传感器传感器的灵敏度第7页,共44页,星期日,2025年,2月5日**三、螺管插铁型电感传感器式中:L—单个线圈的电感量;L0—空心螺管线圈的电感量,W-单个线圈的匝数;r-线圈的平均半径;rc-柱形衔铁的半径;l-单个螺管线圈长度;lc-柱形衔铁插入到单个螺管内的长度;-铁芯的有效磁导率。原理:单个线圈电感量与衔铁插入长度关系为第8页,共44页,星期日,2025年,2月5日**传感器的灵敏度:螺管线圈电感变化量总结:结构简单、易制造,灵敏度低,适于较大位移(数毫米)测量。第9页,共44页,星期日,2025年,2月5日**四、差动电感传感器自感式传感器是单线圈工作,存在的问题:没有信号输入时,仍有输出;外界干扰时输出产生误差;灵敏度低等。差动自感式传感器可以克服这些缺点。由两个结构、材料和电气参数相同自感传感器构成。第10页,共44页,星期日,2025年,2月5日**对差动式传感器,当共用衔铁位移时,两线圈的间隙按?0???、?0+??变化,即一个线圈自感增加,另一个减小。当??/?1时:1.工作原理第11页,共44页,星期日,2025年,2月5日**灵敏度,为
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