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MEMS技术的发展现状与未来展望
目录
MEMS技术的发展现状与未来展望（1）．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
MEMS技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
MEMS技术的主要应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
3.1消费电子．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
3.1.1智能手机．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
3.1.2可穿戴设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
3.1.3智能手表．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
3.2汽车电子．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
3.2.1传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
3.2.2执行器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13
3.2.3控制单元．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.3医疗设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
3.3.1生物传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
3.3.2诊断设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
3.3.3治疗设备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.4航空航天．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.4.1导航系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.4.2发动机控制系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
3.4.3通信系统．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
MEMS技术的关键组成部分．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
4.1微机电系统(MEMS)架构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
4.2材料科学基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
4.3制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
MEMS技术的挑战与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
5.1技术创新挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
5.1.1微型化难题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
5.1.2功耗优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
5.1.3可靠性提升．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
5.2市场与应用机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
5.2.1新兴市场的开拓．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
5.2.2跨行业融合趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
5.2.3全球合作与竞争态势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
MEMS技术的未来发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
6.1新材料的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
6.2新工艺的开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
6.3智
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