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用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号

CN102314101A

(43)申请公布日2012.01.11

(21)申请号CN201110202425.7

(22)申请日2011.07.08

(71)申请人东友FINE-CHEM股份有限公司

地址韩国全罗北道益山市新与洞740-30

(72)发明人洪宪杓;尹嚆重;房淳洪;李承

(74)专利代理机构上海旭诚知识产权代理有限公司

代理人郑立

(51)Int.CI

G03F7/42;

H01L21/00;

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物

(57)摘要

本发明公开了一种用于除去聚酰亚胺的清

洗剂组合物,包含:基于组合物的总量,0.1~

10%wt%的由下列分子式1表示的氢氧化季铵;

50~90wt%的乙二醇醚化合物;7~30wt%的丙三

醇;和剩余的水。[N-(R)

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2012-01-11公开公开

2013-07-31实质审查的生效实质审查的生效

2014-10-08著录事项变更著录事项变更

发明专利申请公布后的视为撤发明专利申请公布后的视为撤

2015-06-17

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说明书

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