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Baw滤波器制备流程

（1）设计流程

Saw和Baw滤波器不同频段的滤波器设计难度不同，提供全频段的设计能力公司寥

寥无几。Baw滤波器的设计流程可总结为下图。

首先可以根据滤波器带外抑制的指标，确定滤波器的初始阶数和结构。然后根据中心

频率、带宽的指标要求，确定滤波器中Fbar的各膜层厚度和有源区的面积，完成滤

波器的初始设计。完成初始设计后需要对Baw滤波器进行优化设计，主要优化串、

并联Fbar的面积比。根据优化结果可以微调Fbar膜层厚度来满足带内纹波的指标

要求。优化设计结果满足指标后对滤波器版图进行设计，并采用声-电磁联合仿真方

法对滤波器性能进行验证。如果仿真结果不满足设计指标要求，则要根据所述的设计

方法，改变滤波器的拓扑结构，再次对滤波器的各项结构参数进行设计优化，直到满

足指标为止。若出现寄生耦合现象，则要对滤波器的版图进行调整。

图104:Baw滤波器的设计流程

资料来源：《Baw滤波器设计方法研究》，国元证券研究中心

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①确定滤波器阶数

在Fbar声学激励范围之外足够远的频率点处，电路模型的电容性分压器特性会影

响一阶梯形滤波器的阻带抑制。要提高带外抑制，必须增加滤波器的阶数或增大并联

Fbar和串联Fbar的电容比，但这样会导致带内插损的增大。故要综合考虑阶数和

并、串联Fbar电容比对滤波器带外抑制性能的影响。

②确定滤波器结构

Baw滤波器基本上可以划分为梯形和网格形两种结构。梯形Baw滤波器包括串联和

并联的谐振器，一个串联的谐振器加一个并联的谐振器称为一个段（stage），整个梯

形Baw滤波器可能由好几个段组成。网格形Baw滤波器与梯形滤波器在工作原理上

很相似，但网格形Baw滤波器不具有传输零点，且滚降较慢，矩形系数差，设计时往

往需要与梯形滤波器结合以满足高性能要求，且设计时必须考虑使用平衡-不平衡变

换器才能实现其差分特性。而梯形Baw滤波器具有较好的矩阵系数，在邻近通带外

的抑制效果明显。故通常采用梯形结构来设计Baw滤波器。在设计滤波器时，还需

将并、串联Fbar的面积比控制在一定范围，通过增加阶数来提高滤波器的阻带抑

制和通带性能。

图105:梯形Baw滤波器图106:网格形Baw滤波器

资料来源：《Baw滤波器设计方法研究》，国元证券研究中心资料来源：《Baw滤波器设计方法研究》，国元证券研究中心

③确定Fbar各膜层厚度和面积

可以根据Fbar的工作原理来调整Fbar膜层厚度，以此改变其谐振频率，一般根

据中心频率与带宽来调节并确定各Fbar的叠层结构与膜层厚度。但通常不会减小

压电薄膜的厚度来增加Fbar的谐振频率，这是由于压电薄膜厚度越薄，压电性能

就越差。而压电薄膜的平面宽与厚度比越大，产生的寄生谐振也会越小。在通过调谐

串联Fbar电极厚度来满足中心频率等指标时，因为工艺因素，一般串、并联Fbar的

底电极厚度要相同但不能太薄，底电极太薄会增加Fbar的欧姆损耗而降低Fbar的

品质因数。此外，Fbar的面积也会影响滤波器的通带性能。

④Fbar单元各膜层材料及参数

Fbar各膜层的材料也需要选定。选择压电薄膜的材料一般需要综合考虑：机电耦合