TSZMS 0009-2024 光轨校准规范.docx

ICS17.040.01TB921

团 体 标 准

T/SZMS0009-2024

光轨校准规范

CalibrationSpecificationforOpticalTrack

2024-12-20发布 2025-01-01实施

深圳市计量测试学会 发布

T/SZMS0009-2024

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目 次

前 言 II

范围 1

引用文件 1

术语 1

概述 1

计量特性 1

校准条件 2

校准项目和校准方法 2

校准结果表达 4

复校时间间隔 4

附录A测距示值误差测量结果不确定度评定 5

附录B直线度误差测量结果不确定度评定 7

I

前 言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》及JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》给出的规则起草。

本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由深圳市计量测试学会提出并归口。

本文件起草单位：深圳市计量质量检测研究院、东莞市帝恩检测有限公司、深圳市鲁科航科技有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、深圳中恒检测技术有限公司、广东精衡检测科技有限公司。

本文件起草人：姚泽龙、贺建超、熊信志、邓军、陈克辉、邵波、伍沛刚、吴江杰、杜岚、陈照聚、周献琦、辛天飞、李志坤、李亮、黄俊、罗嵩番、谢友乐、贾锦龙、苑新、徐丽施、鲁宾瀚、梁镇浩、陈宝应。

本文件为首次发布。

II

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光轨校准规范

范围

本文件适用于光轨的校准。其他类似功能的导轨可参照本规范执行。

引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

JJG

211

亮度计检定规程

JJG

245

光照度计检定规程

JJG

246

发光强度标准灯检定规程

JJG

879

紫外辐射照度计检定规程

JJF1989光谱照度计校准规范、

GB/T11336直线度误差检测

GB/T17421.1机床检验通则第1部分：在无负荷或准静态条件下机床的几何精度

术语

下列术语和定义适用于本文件。

直线度误差

直线要素实际形状保持理想直线的状况，理想直线的位置应符合最小条件。光轨的平直性误差按水平及垂直两个给定方向上的直线度误差表示。

注：在光学计量中，直线度误差也叫平直性误差

概述

光轨是一种用于亮度计、光照度计、紫外辐射照度计、光谱照度计及发光强度标准灯等光学计量器具检定过程中的配套装置。光轨一般由导轨、滑车和测距标尺等组成。将标准灯及光照度计、光照度计等安装在光轨上，通过改变标准灯到被测计量器具之间的距离，让标准灯在测试面上产生不同的亮度、照度值。

计量特性

测距示值误差

测距标尺或测距装置每1m内的最大允许误差：±0.2mm。

直线度误差

光轨的水平及垂直方向在全程范围内的直线度误差：1mm。

注：以上指标不用于合格性判别，仅供参考。

校准条件

校准条件

6.1.1校准环境温度(18～25）℃；相对湿度＜70%。

6.1.2校准室内应无影响测量的震动、气流、强磁场、灰尘、噪音等因素。

测量标准及其他设备

计量特性和测量标准见表1，允许使用满足测量不确定度及使用要求的激光跟踪仪或激光对中仪等其他测量标准及设备进行校准。

表1计量特性和测量标准

序号

计量特性

测量标准

1

测距示值误差

激光干涉仪MPE:±（0.5μm+1.5×10-6L）L为测量距离

2

直线度误差

激光干涉仪:MPE:±（2.5%D+0.5+0.15M2）μm，(其中D为测量读数，μm；M为

测量时直线度干涉镜与直线度反射镜之间的距离，m)

校准项目和校准方法

测距示值误差

校准点的分布

各校准点的间隔见表2，可根据用户的要求增加校准点。

表2各校准点间隔

标距/测距长度

各校准点间隔

≤1m

200mm

＞1m

500mm

校准方法

激光干涉仪可按图1的方式安装，按规定安装及放置各镜组、传感器及调整光路等，正确设置各参数。移动平台自首端向末端移动，分别对各校准点进行校准。共测量2次，测量值至少保留到小数点后两位，以平均值为长度测得值，按式（1）计算测距示值误差。结果按每米分别评估。

标引序号说