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摘要
随着航空航天、微电子和通讯等领域技术的不断研究,镜面器件在精密仪器和
工业测量中扮演着越来越重要的角色,其表面三维面形的精密测量对保障元器件表
面质量和设备工作性能至关重要。
相位偏折术(phasemeasuringdeflectometry,PMD)具有非接触、测量速度快、精度
高、结构简单等优点,被广泛应用在镜面三维形貌测量中。然而,现有的PMD用于
高曲率的镜面测量时,常出现相机采集的结构光图案条纹分布不均匀的情况,导致
对应区域相位解调精度降低甚至错误。为此,本文提出了一
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