抗剪切预紧装置赋能压电式快速倾斜镜的关键技术解析与创新突破.docx

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2025-04-01 发布于上海
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抗剪切预紧装置赋能压电式快速倾斜镜的关键技术解析与创新突破

一、引言

1.1研究背景

在现代光学领域中，对光束的精确控制与调节至关重要，压电式快速倾斜镜（FastSteeringMirror,FSM）应运而生，成为了实现这一目标的关键器件。压电式快速倾斜镜，常被称作压电偏转镜、压电快反镜等，它以压电叠堆陶瓷作为驱动源，利用压电材料的逆压电效应工作。当在压电陶瓷上施加电压信号时，压电陶瓷会快速充电并产生微形变位移，通过巧妙设计的机械结构，将这种微小的直线位移转化为反射镜的偏转运动，从而实现对光束方向的精确控制。

压电式快速倾斜镜具备诸多显著优势，使其在众多光学系统中得到了广泛应用。首先