数字微镜器件色散补偿方法及系统研究.pdf

摘要

随着投影技术的飞速发展，数字光处理（DigitalLightProcession，DLP）技术在

超分辨显微镜、3D激光打印以及全息3D显示等领域具有重要作用。其中，数字微

镜器件(DigitalMicromirrorDevice，DMD)作为DLP投影的核心光学调控器件，具有

数百万个高速独立工作的微反射镜单元，数十微秒量级的调控速度以及超高的调控

对比度，在投影领域具有举足轻重的地位。但由于光的波动特性，光学器件产生的

衍射图样对波长的漂移非常敏感，在DMD工作时呈现特殊的二维光栅特性，导致不

同波长的光束照射到DMD后产生不同的衍射角，从而产生强烈的色散效应，这极大

地限制了数字微镜器件在全色全息显示、多色荧光显微等领域的应用。

为此，本文提出了一种数字微镜器件色散补偿方法，利用棱镜产生特意设计的

角色散，反向抵消DMD产生的角色散，从而实现补偿色散的效果，并进行了系统研

究。本文的研究内容主要有：

（1）介绍了数字微镜器件的结构与工作原理，详细阐述了DMD的衍射原理，

深入分析了DMD的基础衍射模型。衍射是DMD的固有特性，根据其独特的结构及

工作原理，可被视作一个二维的衍射光栅，通过利用闪耀条件对DMD进行建模得到

了建立基于角谱分析的DMD衍射模型的基础。

（2）设计数字微镜器件色散补偿原理，构建了基于角谱分析的数字微镜器件角

谱衍射模型。通过在DMD前加入一个色散棱镜和4f系统，利用棱镜对光束的色散

效应反向补偿因DMD衍射产生的色散。模型中通过计算入射光束的反射函数，利用

角谱变换得到了不同波长和入射角下由DMD出射的方向。通过仿真分析验证了通过

预设入射角，理论上可以满足补偿DMD色散。

（3）进行了数字微镜器件色散补偿系统的设计。设计了数字微镜器件色散补偿

系统的光路原理；参考模型得出的结果，利用Zemax软件通过元件建模、参数优化、

像差分析和传输函数分析等完成了整个系统的光路优化设计，定制化设计了色散棱

镜；使用Solidworks软件按照散热、防尘、减重等设计思路对色散棱镜及其他光学

元件进行了设计，采用减重的上下层结构完成了数字微镜器件色散补偿系统的设计。

（4）进行了色散补偿能力评估及光能利用率测试实验。在集成数字微镜器件色

散补偿系统的基础上，首先，在傅里叶平面拍到了与仿真分析一致的图像，证明了

所提出角谱衍射模型的准确性；其次，通过实验量化了色散角，系统将光束角色散

I

从5.9°优化到了~0.7°，降低约8.5倍；此外，通过显微结构光照明实验，证明了本系

统在显微成像领域也同样适用。最后进行了系统光能利用率的测验，结果显示660nm

光能利用率为10.05%，532nm光能利用率为11.13%，光能利用率均在10%以上。

关键词：数字微镜器件；色散补偿；DMD衍射模型；色散棱镜

II

目录

摘要I

ABSTRACTI

1绪论1

1.1课题研究背景及意义1

1.2数字微镜器件应用现状2

1.3数字微镜器件衍射模型现状4

1.4数字微镜器件色散补偿方法现状6

1.4.1光栅补偿法6

1.4.2双数字微镜器件补偿法8

1.5课题主要内容9

2数字微镜器件及其基础衍射模型概述11

2.1数字微镜器件概述11

2.1.1结构及工作原理11

2.1.2衍射特性12

2.2数字微镜器件基础衍射模型13

2.3本章小结16

3数字微镜器件色散补偿原理及角谱衍射模型构建17

3.1数字微镜器件色散补偿原理17

3.2数字微镜器件角谱衍射模型构建19

3.3数字微镜器件角谱衍射模型仿真21

3.4本章小结23