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Q/HZXN
杭州新诺微电子有限公司企业标准
Q/HZXN001-2021
卷对卷双面数字化光刻设备
2021-11-18发布2021-11-20实施
杭州新诺微电子有限公司发布
Q/HZXN001—2021
目次
前 言2
引 言错误！未定义书签。
1范围3
2规范性引用文件3
3术语和定义3
4要求5
5试验方法5
6检验规则8
7标识、包装、运输、贮存9
1
Q/HZXN001—2021
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起
草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件起草单位：杭州新诺微电子有限公司。
本文件主要起草人：钟永正、廖平强、尚小兵、汪益立、王楚男、蔡自立、牛玉英、唐战备、涂先
勤、陈超。
2
Q/HZXN001—2021
卷对卷双面数字化光刻设备
1范围
本文件规定了卷对卷双面数字化光刻设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则、标识、包装、
运输和存储。
本文件适用于卷对卷双面数字化光刻设备ALDI-RTR-8300D。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
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