原创力文档- 1、本文档共12页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
ICS71.040.99
CCSN51
TGVS
团体标准
T/GVS015—2024
台
平
息
远程等离子体源的解离率测试方法
信
Testmethodfordissociationrateofremoteplasmasource
准
标
体
团
国
全
2024-10-10发布2024-10-10实施
广东省真空学会发布
台
平
息
信
准
标
体
团
国
全
T/GVS015—2024
目次
前言II
台
引言III
1范围1
2规范性引用文件1
平
3术语和定义1
4原理1
5符号与缩略语1
息
6测试环境条件2
7仪器设备及样品2
8操作准备3
信
9测试步骤3
10数据处理4
11测量不确定度5
准
12试验报告5
附录A（规范性）远程等离子体源的解离率试验报告样式6
标
体
团
国
全
I
T/GVS015—2024
前言
您可能关注的文档
- T_CSCP T_CSCP0015—2024(输电线路杆塔接地网土壤环境腐蚀性分级方法).pdf
- T_JSHS 007—2024(设施苦瓜优质绿色栽培技术规程).pdf
- T_PPAC 703—2024(技术信息存证服务指南).pdf
- T_ZGCSC 015—2024(公共数据授权运营实施指南).pdf
- T_SAIAS 018—2024(具身智能语料库建设导则).pdf
- T_NMSP .MZB04.02—2024(“蒙”字标认证要求羊绒制品第2部分：山羊绒大衣).pdf
- T_NXNJXH 04—2024(农机装备作业数据传输技术要求).pdf
- T_GVS 016—2024(机器视觉岗位职业技能等级规范).pdf
- T_CGTA 01—2024(猪饲用玉米_标准).pdf
- T_CIEP 0020—2024(工业用联苯醇副产品20%氯化镁溶液).pdf
- 基本面选股组合月报：大模型AI选股组合本年超额收益达6.60.pdf
- 可转债打新系列：安集转债，高端半导体材料供应商.pdf
- 可转债打新系列：伟测转债，国内头部第三方IC测试企业.pdf
- 联想集团PC换机周期下的价值重估.pdf
- 计算机行业跟踪：关税升级，国产突围.pdf
- 科技类指数基金专题研究报告：详解AI产业链指数及基金布局.pdf
- 计算机行业研究：AIAgent产品持续发布，关税对板块业绩影响较小.pdf
- 民士达深度报告：国内芳纶纸龙头，把握变局期崛起机遇.pdf
- 社会服务行业动态：全球首张民用无人驾驶载人航空器运营合格证落地，霸王茶姬冲击美股IPO.pdf
- 通信行业研究：特朗普关税令落地，长期看好国产算力链.pdf
最近下载
- 职业技能竞赛—供应链管理师职业技能理论题库（附参考答案）.pdf VIP
- 装修装饰工程设计方案(3篇).docx
- 年产2700吨荔枝白兰地工厂设计.docx
- 附件：中铁五局建筑公司工程项目精细化管理细则（试行）相关表格记录.doc
- 深度探索与智能渔业：DeepSeek在渔业领域的应用前景分析.docx VIP
- 9.1西亚 课件 七年级地理下册（人教版2024）.pptx VIP
- 苏教版数学一年级下册（2025）第四单元 认识20～99综合素养测评 B 卷（含答案）.docx VIP
- 部编版五年级语文下册《刷子李》PPT教学课件(第2课时).pptx VIP
- 韬睿惠悦-招商证券岗位价值评估项目成果整体汇报_20160124.pdf VIP
- 产地检疫合格证模板.docx VIP
文档评论（0）