透射电子显微镜----仪器分析.pptVIP

透射电子显微镜;透射电子显微镜;

目前，风行于世界的大型电镜，分辨本领为2~3埃，电压为100～500kV，放大倍数50~1200000倍。由于材料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件，如扫描电镜、扫描透射电镜、X射线能谱仪、电子能损分析等有关附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。它们能同时提供试样的有关附加信息。

高分辨电镜的设计分为两类：一是为生物工作者设计的，具有最正确分辨本领而没有附件；二是为材料科学工作者设计的，有附件而损失一些分辨能力。另外，也有些设计，在高分辨时采取短焦距，低分辨时采取长焦距。;高分辨分析透射电子显微镜JEM200CX;高分辨分析透射电子显微镜JEM2010;;;;透射电镜主要结构;透射电镜组成示意图;光学显微镜和电镜路图比较;光源;;1.电子光学系统

上图是近代大型电子显微镜的剖面示意图，从结构上看，和光学透镜非常类似。

1〕照明局部

〔1〕阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。

〔2〕阳极：加速从阴极发射出的电子。为了平安，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。

〔3〕控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。

阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。

;〔4〕聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷参加的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。;阴极〔接负高压〕;电子枪;热发射的和场发射的电子枪;场发射电子枪及原理示意图;这局部有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。

〔1〕试样室：位于照明局部和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。

〔2〕物镜：电镜的最关键的局部，其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射把戏或衍射把戏；将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于???象平面上，构成与试样组织相对应的显微象。投射电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。

;物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最正确分辨本领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。

为了减小物镜的球差和提高象的衬度，在物镜极靴进口外表和物镜后焦面上还各放一个光阑，物镜光阑〔防止物镜污染〕和衬度光阑〔提高衬度〕

在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透镜是为了进一步改善场对称性而参加的。;近代高性能电镜一般都设有两

个中间镜，两个投影镜。

三级放大成象和极低放大成象示意

图如下所示。;〔a〕高放大率;物镜关闭

无光阑;

这局部由观察室和照相机构组成。

在分析电镜中，还有探测器和电子能量分析附件。

;扫描发生仪;为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用，而不与空气分子发生碰撞，因此，整个电子通道从电子枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内，一般真空度为10-4~10-7毫米汞柱。

;透射电镜需要两局部电源：一是供给电子枪的高压局部，二是供给电磁透镜的低压稳流局部。

电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。所以，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。

近代仪器除了上述电源局部外，尚有自动操作程序控制系统和数据处理的计算机系统。;磁透镜;第二节透射电子显微镜成象原理;透射电镜电子图象形成原理

;电子的散射与衍射;由于晶体内部原子的规那么排列，使得在某些方向可以观察到很强的衍射电子束，其他方向那么无衍射电子出现。晶体对电子束产生的衍射过程都是弹性散射。;原子对电子的散射;由于电子的质量与原子核相比是一个可以忽略的小量，在电子与原子核碰撞过程中原子核可以认为是固定不动的，原子核对电子的吸引力满足距离平方反比定律。如果原子的原子序数为Z,核电荷Ze，电子的电荷-e，势能为;θ很小时，;原子核对电子的散射可分为弹性和非弹性两类，其中弹性散射是电子衍射的根底。;3透射电镜样品制备;2．陶瓷制品;;;;;4电子衍射及结构分析;1．电子衍射根本公式

Rd=λL=K

2．有效相机常数K的标定

3．单晶衍射把戏的分析;典型电子衍射图

〔a〕非晶

〔