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第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂⑸易剥膜性在光刻和电成型的加工之后需要剥膜去除抗蚀剂，此时必须是不侵蚀金属，仅去除抗蚀剂。影响感光性高分子材料的性能的因素：膜厚度：增加膜的厚度，感度和分辨力均有所降低；高分子材料的分子量和分子量分布：分子量越大，感度越高，但分辨力下降，而分子量分布越窄则有利于感度和分辨力的提高。显影液的组成和配比：对于同一种感光性高分子材料，显影剂不同，光刻精度也不同。第63页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂5.3.2负性抗蚀剂（光刻胶）负性抗蚀剂的作用原理：利用光照使光致抗蚀剂（感光胶）发生光聚合或者光交联反应，生成的聚合物溶解度大大下降，在显影时留在氧化层表面。包括：分子链中含有不饱和键或可聚合活性点的可溶性聚合物，它们在光敏剂存在时，在紫外光的作用下可产生交联或聚合反应，使其溶解度下降。一、聚乙烯醇肉桂酸酯类聚乙烯醇肉桂酸酯：由聚乙烯醇与肉桂酰氯反应制得的光二聚型感光高分子第64页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂聚乙烯醇肉桂酸酯的合成其光二聚化反应第65页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂其他类型的负性光致抗蚀剂：聚乙烯氧肉桂酸乙酯、聚对亚苯基二丙烯酸酯、聚乙烯醇肉桂叉乙酸酯、聚乙烯醇（N-乙酸乙酯）氨基甲酸酯-肉桂叉乙酸酯、肉桂酸与环氧树脂形成的酯类，其作用原理与上述过程基本相同。聚乙烯醇肉桂酸酯的特点：性能优良，但它的显影剂是有机溶剂，柔韧性及附着力还需进一步改进。改性产品：如聚乙烯醇的肉桂酸-二元酸混合酯（可用碱水显影）、乙烯-乙烯醇共聚物的肉桂酸酯（柔韧性较好），环氧树脂的肉桂酸酯（附着力好）等。第66页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂OSR：一种改性产物，其感度更高，比KPR大2~6倍,作为光刻胶其分辨率可达1μm左右。在肉桂酰基与乙烯基之间引入了苯基或烷基的烯类单体，如肉桂酸乙烯氧基乙酯，然后溶于甲苯中，通氮，在低温下以BF3·OEt2为催化剂进行阳离子聚合，制得了聚肉桂酸乙烯氧基乙酯。第67页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂通过将感光性化合物结构中感光基团的共轭体系增长，可改变其最大吸收波长。如将聚乙烯醇用肉桂叉乙酰氯酯化就得到聚乙烯醇肉桂叉乙酸酯，其光吸收可伸展到紫外区的420nm。如果再向这类光刻胶中加入适当的光敏剂，其感光波长还会向长波长范围延伸，而成为高感度的光致抗蚀剂。第68页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂也可以向其中加入光敏剂以提高光引发效率，使之可以在波长更长的近紫外光区进行反应。表5-7聚乙烯酸肉桂酸酯常用的光敏剂增感剂相对感度吸收峰值/nm感光波长边值/nm无2.23203505-硝基苊184400450蒽醌993204204,4’-四甲基-二胺基苯甲酮6403804201,2-苯并蒽酮510420470对硝基苯胺110370400第69页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂二、环化橡胶环化橡胶：以顺聚异戊二烯为基本原料，通过环化反应生成树脂状的聚合物。光敏剂：双叠氮类化合物，如2,6-双-(4-二叠氮苯亚甲基)环已酮，2,6-双-(4-二叠氮苯亚甲基)-4-甲基环已酮等。环化橡胶-双叠氮化合物的感光交联机理：双叠氮化合物被光照分解产生氮气，生成非常活泼的中间体即双亚氮化合物双亚氮化合物能与环化橡胶的双键高速进行反应，生成立体网状交联结构第70页，共124页，星期日，2025年，2月5日第五章光功能高分子材料_光致抗蚀剂特点：分辩力高，溶解性好，通过精制有可能达到接近光照射时界限的分辨力（2～3μm），它具有优异的耐腐蚀性，良好的粘附性，可广泛用于硅、二氧化硅、铝、钼、铜、铬、不锈钢及石英材料的刻蚀。二元预聚物组成的负性光刻胶：两种预聚体（如线型预聚物和交联剂组成）参与光聚合或光交联反应，形成网状不溶性保护膜；或通过加入两种以上的多功能基单体与线性聚合物混合，受到光照时胶体内发生光聚合反应，生成不溶性网状聚合物，将可溶性线性聚合物包裹起来，形成不溶性膜保护硅氧化层。如不饱和聚酯，可以和单体苯乙烯-丙烯酸酯，或其它双功能基单体，如二乙烯苯、N,N-亚甲基双丙烯酰胺、双丙烯酸乙二醇酯和安息香光敏剂等配制成负性光致抗蚀剂。这类光刻胶已用于集成电路和印刷制版工艺。第71页，共