基于流固耦合的气体静压导轨侧向静态特性分析.pdfVIP

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第5期组合机床与自动化加工技术No.5

2023年5月ModularMachineTool&AutomaticManufacturingTechniqueMay2023

文章编号:1001-2265(2023)05-0014-05DOI:10.13462/j.cnki.mmtamt.2023.05.004

基于流固耦合的气体静压导轨侧向静态特性分析∗

aꎬbaꎬbaꎬbaꎬb

姚建华ꎬ尹自强ꎬ杨义军ꎬ柴宁

(广东工业大学a.广东省微纳加工技术与装备重点实验室ꎻb.省部共建精密电子制造技术与装备

国家重点实验室ꎬ广州510006)

摘要:气体静压导轨的结构变形会造成气膜的压力分布与理论模型存在明显偏差ꎬ从而影响了其静

态特性ꎮ研究建立了气体静压导轨的流固耦合模型ꎬ分析了导轨两侧气膜压力分布与结构变形的

关系ꎻ此外ꎬ通过双向流固耦合仿真ꎬ得到了在不同位置外力作用下气体静压导轨的承载能力和位

移的关系ꎬ以及导轨变形情况和位移的关系ꎬ分析了不同位移下导轨变形与承载力的关系ꎮ最终通

过实验对流固耦合仿真数据进行了验证ꎬ得出流固耦合仿真数据与实验结果较为吻合ꎬ在不同位置

的外力作用下的气体静压导轨的静态特性相差较大ꎮ

关键词:多孔质气体静压导轨ꎻ双向流固耦合ꎻ刚度ꎻ计算流体力学(CFD)

中图分类号:TH165ꎻTG659文献标识码:A

AnalysisoftheStaticPerformanceoftheLateralCarriageoftheAerostaticGuidewayBased

ontheFluid ̄SolidCoupling

aꎬbaꎬbaꎬbaꎬb

YAOJian ̄huaꎬYINZi ̄qiangꎬYANGYi ̄junꎬCHAINing

(a.GuangdongProvincialKeyLaboratoryforMicro ̄nanoManufacturingTechnologyandEquipmentꎻb.State

KeyLaboratoryofPrecisionElectronicManufacturingTechnologyandEquipmentJointlyBuiltbytheProvince

andMinistryꎬGuangdongUniversityofTechnologyꎬGuangzhou510006ꎬChina)

Abstract:Thestructuraldeformationofaerostaticguidewaywillcausetheobviousdeviationbetweenthe

pressuredistributionofthegasfilmandthetheoreticalmodelꎬthusaffectingitsstaticcharacteristics.Inthis

studyꎬafluid ̄structurecouplingmodelofaerostaticguidewayisestablishedꎬandtherelationshipbetween

thegasfilmpressuredistributiononbothsidesoftheguidewayandthestructuraldeformationisanalyzed.

Inadditionꎬthroughtwo ̄way

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