可见光波段TiO_2滤波超构透镜的设计与制备.pdfVIP

摘要

摘要

随着半导体集成器件的快速发展，人类已进入智能时代，信息技术正在推

动产业变革。对于更高的性能需求，传统器件纷纷要求小型化、集成化，透镜

做为光学系统中重要的组成部分，实现透镜的小型化是光学系统集成化的重要

一步。传统透镜需要一定曲率和厚度来实现对光的波前控制，其厚度限制了集

成化的应用。但超构透镜通过亚波长微纳结构提供的相位变化来实现对光波前

的调控，其所需的的微纳结构高度通常在一个到几个光波长范围内，同时微纳

结构的制备工艺又可以与半导体工艺相兼容，有利于光学器件的集成化。滤波

聚焦超透镜由于其窄带特性，可以分离调控不同波长的光，但此类非局域超表

面器件鲁棒性较差，受制于当前微纳制备工艺，此方面许多研究还停留在模拟

设计阶段。由于可见光波段的超透镜可以满足最多的应用需求，TiO2作为一种

具有广泛应用前景的半导体材料，具有良好的光学性能和化学稳定性，在可见

光波段内表现出高的折射率和透过率，是可见光波段超透镜的理想选择。本文

研究了基于非局部共振和几何相位的超构透镜的设计，并制备得到了工作波长

为620nm的滤波透镜。本文的研究成果主要包括以下方面：

TiO2滤波超