电容传感器测量电路噪声分析.docx

摘要

电容式传感器一般是将被测量的变化量转换为电容量的变化量。目前，基于这种原理的各种类型的传感器已在测量加速度、液位、几何孔径等等方面得到了广泛的应用。但以电容为变化量的传感器尤其是MEMS传感器，其电容变化范围往往只有几个pF，甚至几个fF。这便对电容检测的精度提出了很高的要求。尤其是在传感器的研发过程中，往往需要极其高精度的检测电路对电容式传感器进行测试与调校，故而电容式传感器检测电路通常具有极高的灵敏度。与此同时，在实际应用中，电容式传感器检测电路也能够极其轻易地接收到外面或内里的一些无规则的噪声。如果这些噪声对测量信号的影响达到了难以忽略的程度，不能够得到妥善地解决，那么有用信号很有