金刚石涂层微工具的水膜辅助脉冲激光加工工艺研究.pdfVIP

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

CVD金刚石涂层微工具作为一种新型的微加工工具，利用涂层表面的磨

粒实现磨削加工。CVD金刚石涂层微工具由于具有良好的加工性能和耐磨性，

近年来逐渐得到相关学者的关注。但是由于不含结合剂，磨粒密度大，容屑

空间小，易发生堵塞，这使得CVD金刚石涂层微工具的应用具有了局限性。

本课题开展了金刚石涂层微工具的水膜辅助脉冲激光加工工艺研究。首

先搭建了脉冲激光加工系统，进行了激光功率的标定，运动轴的误差补偿。

基于机器视觉对圆跳误差进行了补偿，将刀具的圆跳误差由原来的几十微米

下降到了5μm以内。阐述了脉冲激光加工的机理，对于本文所加工的材料，

亚纳秒激光加工为热平衡烧蚀机制，皮秒激光加工为混合烧蚀机制。分析了

水膜对激光加工的作用影响，根据高斯光学理论和卷积原理，得到了激光在

材料表面方向和横截面方向的能量分布模型。

其次，进行了水膜辅助激光加工工艺实验研究。进行对比实验，说明了

水膜辅助的引入能良好地改善激光烧蚀的热效应，提高加工质量。分别对硬

质合金基体和CVD金刚石涂层进行了激光加工实验。通过硬质合金基体的

沟槽加工实验，得到了激光的束腰半径为6.10μm，完善了激光能量的分布模

型，模型对于激光加工的定性描述具有良好的指导意义。分析了各加工参数

对于烧蚀沟槽几何尺寸的影响规律，激光对CVD金刚石涂层的作用规律和

基体材料一致，皮秒激光的加工质量优于亚纳秒激光。进行了平面加工实验，

分析了各加工参数对于方形微结构加工质量、去除深度和速率的影响规律。

利用合适的加工参数获得了质量较好的V型槽。

最后，进行了金刚石涂层微工具的加工应用研究。选择了CVD金刚石

涂层微工具的刀具参数，在合适的激光参数完成了不同参数微结构化CVD金

刚石涂层微工具和基体微工具的制备。通过单因素实验得到了磨削参数对加

工表面质量的影响规律，得到了加工的良好参数，即主轴转速30000rpm，进

给速度2mm/min，磨削深度4μm，磨削宽度50μm，在该参数下验证了结构

化工具对于磨削的改善作用。

关键词：金刚石涂层微工具；脉冲激光加工；表面微结构；磨削性能

I

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

Abstract

Asanewtypeofmicro-machiningtool,CVDdiamondcoatedmicrotools

utilizetheabrasivegrainsonthecoatingsurfacetoachievegrinding.CVD

diamondcoatedmicrotoolshavegraduallyattractedtheattentionofrelevant

scholarsinrecentyearsduetotheirgoodprocessingperformanceandwear

resistance.However,duetothelackofbinder,thedensityofabrasivegrainsis

high,thechipspaceissmall,andcloggingiseasytooccur,whichlimitsthe

applicationofCVDdiamond-coatedmicrotools.

Thisdessertationcarriesouttheresearchonthewaterfilmassistedpulsed

lasermachiningofthediamondcoatedmicroto