熔石英光学元件表面微缺陷增材修复仿真与实验研究.pdf

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

熔石英光学元件具有硬度高、熔点高、热膨胀系数低、化学性质稳定等特点，

其在185-2600nm的宽光谱区域之间具有极高的透光性能，主要使用在强冲击、高

载荷、高能量的环境下。在强激光诱导下熔石英表面会产生多种微缺陷类型，为提

高损伤元件的抗激光损伤能力，CO2激光局部修复技术已成功应用于表面微缺陷的

批量修复，其通过减材的方式在表面微缺陷位点加工出高斯型凹坑或锥形环坑，有

效提高抗激光损伤阈值，但修复形貌会对下游光学元件产生光束调制，增加下游元

件的损伤概率，是发生再次损伤的主要原因。本文提出一种微缺陷增材修复技术，

通过CO2激光与微缺陷部位预置的涂层材料发生反应减缓修复区域的表面形貌，

实现微缺陷表面区域材料的增材式增长。

首先探索配制了熔石英表面微缺陷的填补料-熔石英纳米粉溶液，研究分析溶

质溶剂的最佳配比，对不同固相含量的溶液性质和流变流动性能进行测定，在不同

剪切应变作用下溶液存在性质转变，具有良好的流变性能，高固相含量溶液具有更

高的粘结效应，在CO2激光的持续辐照下形成更加平整光滑的表面，对比选择高

固相含量的熔石英纳米粉溶液用于受损部位的流动填充，通过多种方法对激光熔

融材质特征进行表征，XRD、XPS衍射图像表明激光熔融表面材质为典型的熔石

英，与基材相比没有成分结构变化。

对微缺陷表面预置颗粒熔化过程进行仿真研究，建立基于流体控制方程、传热

传质方程和材料相变动力学的多物理场耦合模型，考虑预置颗粒热物性参数的非

线性变化，主要关注团簇颗粒表面形貌的演变变化过程。微缺陷表面形貌变化主要

分为两个阶段：大曲率形貌减缓阶段和熔池材料扩展阶段，微缺陷边缘材料熔融流

动造成缺陷横向尺寸增大，微缺陷深度和锥角出现明显地减缓现象，激光热累积造

成修复位点致密化行为，在不同方向上应力分布不一致。

探究对不同尺寸的微缺陷凹坑进行激光增材修复的工艺参数变化，微缺陷表

面的预置溶液熔融过程与预置颗粒熔化过程趋于一致，增材修复为损伤表面提供

良好的平滑效果，并从涂层溶液中获得熔石英材质，增材修复后的微缺陷的深度与

锥角最大减缓程度超过50%，微缺陷表面形貌减缓比例主要受熔石英纳米粉溶液

含量的影响，微缺陷形貌变化对下游光束传输的一次波峰有明显的减缓效果。

关键词：熔石英；增材修复；表面微缺陷；CO2激光；有限元分析

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哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

Abstract

Fusedsilicaopticalelementhasthecharacteristicsofhighhardness,highmelting

point,lowthermalexpansioncoefficient,andstablechemicalproperties.Ithasextremely

highlighttransmissionperformanceinthewidespectralregionof185-2600nm.Mainly

usedintheenvironmentofstrongimpact,highloadandhighenergy.Avarietyofmicro-

defecttypesbegeneratedonthesurfaceoffusedsilicainducedbystronglaser.Inorder

toimprovetheanti-laserdamageabilityofdamagedcomponents,CO2laserlocalrepair

technologyhasbeensuccessfullyappliedtobatchrepairofsurfacemicro-defectpoint.It

isprocessinggaussianpitsorconicalringpitsatthedamagedpointsoffu