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抗冲击硅微机械陀螺仪结构设计关键技术研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展的浪潮中，惯性导航系统凭借其自主性强、隐蔽性好、抗干扰能力出色以及能实时提供载体的位置、速度和姿态等关键信息的显著优势，在众多领域得到了极为广泛的应用，已然成为不可或缺的重要技术。而陀螺仪作为惯性导航系统的核心部件，其性能的优劣直接关乎整个系统的精度和可靠性。

硅微机械陀螺仪，作为一种基于微机电系统（MEMS）技术的新型惯性传感器，自问世以来便备受关注。它巧妙地利用振动质量块在被物体带动旋转时产生的哥氏效应，实现对物体旋转角速度的精确测量。与传统的机械式陀螺仪、光学陀螺仪相比，硅微机械陀螺仪展现出诸多独特