压电微悬臂梁阵列并行探测技术：原理、应用与挑战.docx

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2025-07-10 发布于上海
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压电微悬臂梁阵列并行探测技术：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，传感器技术作为获取信息的关键手段，在众多领域发挥着举足轻重的作用。其中，压电微悬臂梁作为一种高灵敏度的传感器件，自原子力显微镜发明以来，便受到了广泛关注。它具有纳米级分辨率和灵敏度，不仅可以检测微小作用力，还能对温度、场强、质量、液体密度和粘度等物理量进行有效检测。压电微悬臂梁的工作模式主要有弯曲模式和共振模式，弯曲模式测量微悬臂梁在外力作用下的静态形变，共振模式则测量微悬臂梁共振频率的变化。理论上，微悬臂梁的共振频率与其有效质量的-1/2次幂成倒数关系，当被测物质吸附于微悬臂梁上