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2025-07-18 发布于河北
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(ACS及Process)自动镀膜控制装置使用说明书.pdf

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自镀控制装

动膜置

使用说明书

ACS

(Gener)

开始1

术语2

改版履3

第1章作4

1.1.计算畋系统的起动4

计算却出勺起动4

1.1.2.系统的起动4

1.2.系统ACS及计算则关闭4

1.2.1.系统的关闭…4

1.2.2.计算机的关闲4

1.3.主操作画面5

1.3.1.文件选择部分6

1.3.2.设定部分7

1.3.3.命令项目部分7

1.3.4.电子^仓控制部分8

1.3.5.护部分8

1.3.6.确认部分9

1.4.ACS文件夹构造10

第2章工艺文件11

2.1.预熔工艺文件11

2.1.1.文件部分11

2.1.2.参数部分动作条件12

2.1.3.参数EB放射电流控制12

2.1.4.参数BeamRotation13

2.1.5.参数CUP指定13

2.1.6.命令部分14

2.2.成嘤数文件14

2.2.1.命令部分15

2.2.2.Barch参数15

2.2.3.各层参数16

2.2.4.Material(i),Material(Lo)18

2.2.5.IBS23

2.3.参照LOG文件时的操作23

第3章24

3.1.参数25

3.2.处理状态.25

3.3.EB微调整25

3.4.Cup状态26

第4章也26

4.1.成膜处理流程26

4.2.GP-IB筋器白试验26

4.3.复原动作的选择27

4.4.确认监控片位置28

4.5.确认TOGGLESWITCH28

4.6.FILAMENTANNEAL29

4.7.确认成膜开始条件29

4.8.离子拗爰机30

4.9.单色仪的初期化30

4.10.设定离子枪参数31

4.11.

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