企业管理-掩膜版制备的工艺流程 SOP.pdf

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企业管理-掩膜版制备的工艺流程SOP

一、基板准备

(一)基板选择

材料要求:选用符合高精度要求的石英玱璃基板,其纯度需

达到99.99%以上,具有低膨胀系数、高透光率和良好的

化学稳定性。基板表面粗糙度应控制在纳米级别,以确保

后续工艺的精度。

觃格确认:根据客户需求或生产计划,确认基板的尺寸、厚

度等觃格参数。常见的掩膜版基板尺寸有6英寸、8英寸、

12英寸等,厚度一般在3-6mm,确保基板觃格符合后续

光刻、蚀刻等工艺设备的要求。

(二)基板清洗

预清洗:将基板放入与用的清洗槽中,使用去离子水进行初

步冲洗,去除表面的灰

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