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波谱仪和能谱仪比较*第60页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析合金钢波谱分析谱线图*第28页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析直进式波谱仪的优点是X射线照射分光晶体的方向是固定的，即出射角保持不变，这样可使X射线穿出样品表面过程中所走的路线相同，即吸收条件相等。*第29页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析回转式波谱仪工作原理回转式波谱仪中，聚焦圆的圆心O不移动，分光晶体和检测器在聚焦圆的圆周上以1:2的角速度运动，以保证满足布拉格方程。这种波谱仪结构比直进式波谱仪结构更为简单，出射方向改变很大，在表面不平度较大的情况下，由于X射线在样品内行进路线不同，往往会因吸收条件变化而造成分析上的误差。回转式波谱仪*第30页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析分光晶体的检测范围一块分光晶体只能把一定波长范围的X射线分开。分光晶体能够分散的X射线的波长范围决定于其衍射面的晶面间距d和分光晶体衍射面与入射Ｘ射线的夹角θ的可变范围。根据布拉格方程λ=2d·sinθ，当θ=0o时，λ=0；当θ=90o时，λ=2d。从理论上看，每块分光晶体能够分散的X射线波长范围应为0~2d。*第31页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析实际测试中，由于受到谱仪设计几何位置的的限制，θ值过大时，晶面反射率太低；θ值过小时，一是计数管损伤太厉害，二是空间位置也不能安排。所以θ角大致是在12o~65o范围内。按此推算，分光晶体能够分散的X射线波长范围大致是0.4d~1.8d之间。如利用LiF晶体的（200）面网（d=2.013?），理论检测范围为0~4.03?，但实际探测范围为0.89?~3.5?。*第32页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析由于每块分光晶体能够分散的X射线波长范围是有限的，因此，用一块分光晶体只能检测波长在某个范围的X射线。为了使波谱仪能够尽可能多地分析周期表中的元素，必须配备几种晶面间距的分光晶体。常用分光晶体的检测范围见后表。目前，电子探针波谱仪能分析的元素为4Be~92U。*第33页，共74页，星期日，2025年，2月5日波谱仪的种类和特征*第34页，共74页，星期日，2025年，2月5日*第35页，共74页，星期日，2025年，2月5日各种分光晶体的分析范围*第36页，共74页，星期日，2025年，2月5日材料现代测试方法电子探针显微分析*第37页，共74页，星期日，2025年，2月5日每一道谱仪包括两块分光晶体承担不同元素范围的分析每一道谱仪包含两块分光晶体第38页，共74页，星期日，2025年，2月5日X射线测量强度、分辨率和罗兰圆的关系同一电子探针中，两种罗兰圆的设计思想，兼顾了分辨率和灵敏度（专利技术）第39页，共74页，星期日，2025年，2月5日分光晶体可在谱仪轨道的任何位置交换（翻转）

分光晶体交换后无须机械调整、数据的重复性好

分析速度快，对于大量数据的分析（如面分布分析等），节省时间分光晶体交换（翻转）示意图第40页，共74页，星期日，2025年，2月5日各种电子枪的比较表征电子枪的物理量：束流、束流稳定度、能量发散度热电子发射场发射电子枪种类钨灯丝W六硼化镧LaB6热场发射ZrO/W100冷场发射W310