第九章透射电子显微镜.pptVIP

（一）物镜提高物镜分辨率的措施：物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下极之间的距离越小，物镜的分辨率越高。在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减少球差，像散和色差的作用，而且可以提高图像的衬度。第30页，共55页，星期日，2025年，2月5日光学透镜的焦距是固定的。电磁透镜的焦距是可以通过调节电流大小来改变。在用透射电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物理学电镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f和L2）来满足成像条件。第31页，共55页，星期日，2025年，2月5日（二）中间镜作用：在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。特点：弱激磁，长焦距，可变倍透镜，放大倍数0-20倍。第32页，共55页，星期日，2025年，2月5日（三）投影镜投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的。第33页，共55页，星期日，2025年，2月5日成像电子束进入投影镜时孔径角很小（约10-5rad）,因此它的景深和焦长都非常大。即使显微镜的总放大倍数有很大的变化，也不会影响图像的清晰度。如果中间镜的像平面出现一定的位移，这个位移距离仍处于投影镜的景深范围之内，因此，在荧光屏上的图像仍旧是清晰的。第34页，共55页，星期日，2025年，2月5日§9-1透射电子显微镜的结构和成像机理（四）成像与衍射操作：背焦面背焦面：样品的电子衍射斑点。第35页，共55页，星期日，2025年，2月5日§9-1透射电子显微镜的结构和成像机理（四）成像与衍射操作：像平面像平面：样品的放大像。像平面像平面第36页，共55页，星期日，2025年，2月5日如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作，如右图（a）所示。如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是电子显微镜中的电子衍射操作，如右图（b）所示。成像操作与衍射操作第37页，共55页，星期日，2025年，2月5日成像操作与衍射操作的区别：1、如果物镜的光阑是关闭的，则中间镜的物平面与物镜的像平面重合，即为成像操作。2、如果物镜的光阑是开启的，则中间镜的物平面与物镜的背焦面重合，即为衍射操作。第38页，共55页，星期日，2025年，2月5日第39页，共55页，星期日，2025年，2月5日成像系统高性能的透射电镜大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影镜有两级，分第一中间镜和第二中间镜，第一投影镜和第二投影镜。见下图第40页，共55页，星期日，2025年，2月5日*第1页，共55页，星期日，2025年，2月5日第九章透射电子显微镜透射电镜结构与工作原理第2页，共55页，星期日，2025年，2月5日§9-1透射电子显微镜的结构和成像机理透射电子显微镜TransmissionElectronMicroscope,TEM是以波长极短的电子束作为照明源、用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器，是观察分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。第3页，共55页，星期日，2025年，2月5日分析透射电子显微镜JEM200CX第4页，共55页，星期日，2025年，2月5日分析透射电子显微镜JEM2010第5页，共55页，星期日，2025年，2月5日分析型透射电子显微镜第6页，共55页，星期日，2025年，2月5日超高压电镜第7页，共55页，星期日，2025年，2月5日TEM发展简史1924年deBroglie提出波粒二象性假说1926Busch指出“具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜的作用，有可能使电子束聚焦成像”。1927DavissonGermer,ThompsonandReid进行了电子衍射实验。1933年柏林大学的Knoll和Ruska研制出第一台电镜（点分辨率50nm,比光学显微镜高4倍)，Ruska为此获得了NobelPrize（1986）。1949年Heidenreich观察了用电解减薄的铝试样；第8页，共55页，星期日，2025年，2月5日近代TEM发展史上三个重要阶段像衍理论(50－60年代)：英国牛津大学材料系P.B.Hirsch,M.J.Whelan；英国剑桥大学物理系A.Howie（建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术及电