第二部分第五章真空技术.pptVIP

真空：低于大气压力的气体状态。单位：Pa低真空：10-1-103Pa；高真空：10-6-10-1Pa；超高真空：低于10-6Pa。真空技术的应用，发展了一系列的冶金新工艺，提高了产品质量，同时，出现了大量真空冶金物理化学问题待冶金工作者去研究。在现代分析测试技术中也需要真空技术的配合。*第1页，共33页，星期日，2025年，2月5日真空在冶金中的应用：1）过滤；2）保存易腐物质；3）熔点、沸点下降，有利于干燥、提纯、分离；4）传热速度下降，有利于隔热；5）电绝缘性良好；6）分子碰撞机会少，可制作加速器；7）固体对气体吸附少，有利于物料的表面分析。*第2页，共33页，星期日，2025年，2月5日5.2真空获得抽真空：获得真空的过程，也叫排气。5.2.1真空泵简介真空泵：获得真空的设备。前级泵：能使气压从一大气压开始变小的真空泵；出口压力1atm次级泵：只能从较低的气压抽到更低的气压的真空泵；出口压力1atm极限真空度：真空系统在排气足够长的时间后所能达到的真空度。抽速：规定气压下单位时间抽出的气体体积。*第3页，共33页，星期日，2025年，2月5日获得真空的基本方法：1、利用机械运动排走气体；如活塞运动、转子运动等。2、利用高速蒸气流排走气体；3、利用吸附使气体由气相变为固相；如分子筛吸附泵、低温吸附泵4、利用低温冷凝气体；利用液态氮，可得到温度为4k的极冷表面，而液氨可得到20k的低温表面。气体如O2、CO、H2O等打到此表面上后立即失去热量并立即凝固，分子不断打到冷表面，空间分子密度不断下降。*第4页，共33页，星期日，2025年，2月5日真空泵按工作特点可分为两类：1、传输泵：把气体直接或间接传输到大气中，又分容量泵和动量泵。容量泵：往复式、滑阀式、旋转式。动量泵：分子泵、喷射泵。2、捕集泵：将气体暂时或永久贮存在泵中，不排到大气。如吸附泵、升华泵、低温泵。*第5页，共33页，星期日，2025年，2月5日真空泵简介：1、往复式真空泵可获得粗真空；103Pa2、水蒸气喷射真空泵10-1Pa3、滑阀式真空机械泵7×10-2Pa4、油真空增压泵实际上是一种喷射泵10-25、机械增压泵10-2Pa6、涡轮式分子真空泵10-6Pa7、复合式钛离子真空泵10-7Pa8、分子筛吸附泵10-2Pa9、溅射离子泵10-6Pa10、低温泵液氨致冷10-8Pa液氮致冷10-11Pa*第6页，共33页，星期日，2025年，2月5日机械泵：利用机械旋转造成吸气和排气获得真空机械泵结构图*第7页，共33页，星期日，2025年，2月5日5.2.2旋片式真空泵1）结构旋片式机械泵主要由进气口、定子、转子、翼片、排气阀等组成。如图！1排气管，2进气管，3外壳，4排气阀5真空泵油，6定子，7转子8翼片，9弹簧*第8页，共33页，星期日，2025年，2月5日2）工作原理*第9页，共33页，星期日，2025年，2月5日有害空间的存在影响泵的极限真空度；抽可凝性气体时需装气镇阀。*第10页，共33页，星期日，2025年，2月5日3）注意事项（1）机械泵装机位置要便于观察、清洗、换油；（2）停止工作时应向泵中放入干燥空气；（3）不能反转；（4）不能有硬物落入泵中；（5）不能混入易蒸发的杂质；（6）定期清洗泵体和更换泵油。*第11页，共33页，星期日，2025年，2月5日5.2.3扩散泵结构：加热部分、喷射部分和冷却部分。有几级喷嘴就称几级泵。1进气口,2冷阱,3水冷壁,4喷嘴,5油蒸气导管,6排气口,7泵油,8漏油导管,9加热电炉.*第12页，共33页，星期日，2025年，2月5日*第13页，共33页，星期日，2025年，2月5日扩散泵只能作为次级泵使用！存在两个反扩散：1）泵底部和上部被抽气体的密度差形成的反扩散；2）油分子与被抽气体分子碰撞，改变方向进入被抽系统。改进措施：改善喷嘴设计、提高扩散泵油质量、加装冷阱。*第14页，共33页，星期日，2025年，2月5日使用扩散泵注意事项