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YAG雷射热裂切割的多曲面反射镜优化设计.docx

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    YAG雷射热裂切割的多曲面反射镜优化设计

    OptimalDesignofMulti-SphereReflectionMirrorforYAGLaserinThermalFractureCuttingTechnology

    雷射热裂切割法具有加工速度快、切割面平整及热残留应力低等优点，近年来已逐渐取代传统钻石刀切割研磨法成为光电产业液晶玻璃基板加工主流。为克服玻璃对近红外光吸收率较低的问题，YAG雷射应用于玻璃热裂切割时，需使用反射镜使雷射光来回震荡。本文透过多曲面反射镜的设计来控制雷射光能量场的分布，使YAG雷射应用于薄板玻璃切割时能加快切割速度

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