薄膜拉伸特性测量的带材弯曲测试方法.pdfVIP

薄膜拉伸特性测量的带材弯曲测试方法

1范围

本文件规定了用于测量薄膜拉伸性能的带材弯曲测试方法，与常规拉伸测试相比，该方法操作难度

适中,具有精度高和可重复的优点。本方法适用于厚度在50纳米到几微米之间，且长宽比（长度和厚度

的比值）大于300的试样。

在微机电系统（MEMS）中，两个固定支点之间的悬空带材（或桥）被广泛采用。与制造传统的拉伸

试样相比，制造这种带材结构比较容易，且测试过程简单，很容易实现自动化。该标准可用于MEMS生产

中的质量控制测试，与传统拉伸测试相比，其测试效率更高。

2引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

无

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

挠度ωdeflection

试样相对于试样两个固定端之间连线在连线中点处的位移。

3.2

挠度角βdeflectionangle

变形后的试样与试样两个固定端连线的夹角。

注：本文件中的试样通常称为带材试样。

4测试设备

4.1总则

测试设备由驱动器、负