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电子气体中酸度测定第1部分：傅里叶红外光谱法标准发展报告

EnglishTitle

StandardforDeterminationofAcidityinElectronicGases—Part1:FourierTransformInfraredSpectroscopyMethod

摘要

随着半导体、集成电路和显示面板等高端制造业的快速发展，电子气体的纯度要求日益严格，其中酸度作为关键杂质指标直接影响产品质量与性能。传统检测方法如酸碱滴定法和离子选择电极法存在操作繁琐、效率低下、使用有害试剂及安全性不足等问题。本报告围绕《电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶红外光谱法》的标准化工作，系统分析了该标准的立项背景、目的意义、技术内容及适用范围。傅里叶红外光谱法（FTIR）具有高灵敏度、高重复性、低检出限及人机分离安全操作等优势，可实现对氟化氢、氯化氢、二氧化硫和硫化氢等多种酸性杂质的高效检测。该标准响应了《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》和《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》的政策要求，旨在推动电子化工新材料领域的技术创新与质量提升。本报告还介绍了主要技术内容、应用范围及参与制定的技术机构，并对未来标准化工作提出展望。

关键词

电子气体；酸度测定；傅里叶红外光谱法；标准化；特种气体；杂质检测；质量控制

Electronicgases;Aciditydetermination;FTIR;Standardization;Specialtygases;Impuritydetection;Qualitycontrol

正文

1研究背景与目的意义

电子气体是半导体、集成电路、光伏和显示制造过程中不可或缺的关键材料，其纯度直接决定最终产品的性能与可靠性。酸性杂质如氟化氢（HF）、氯化氢（HCl）、二氧化硫（SO?）和硫化氢（H?S）即使处于痕量水平（十亿分之一至百万分之一摩尔分数），也可能导致器件腐蚀、性能退化或失效。因此，准确、快速检测电子气体中的酸度具有重要意义。

传统检测方法主要依赖化学水解结合酸碱滴定或氟离子选择电极法。这些方法需使用强酸、强碱或其他有害试剂，操作复杂、耗时较长（通常需数小时），且实验人员需近距离接触危险化学品，安全风险较高。此外，传统方法的检出限和重复性难以满足高端电子制造中对超痕量杂质检测的需求。

傅里叶红外光谱法（FTIR）作为一种先进的光学分析技术，通过分子振动光谱实现对气体成分的定性与定量分析，具有以下优势：

-高灵敏度与低检出限：可检测低至100×10??（摩尔分数）的酸性杂质；

-高效性与自动化：单次检测时间通常在几分钟内，支持连续在线监测；

-安全环保：实现人机分离操作，避免接触有害化学品；

-多组分同时分析：可同时检测HF、HCl、SO?、H?S等多种酸性气体。

本标准旨在通过规范化FTIR方法的技术要求、实验流程和质量控制措施，为电子气体生产企业、第三方检测机构和下游用户提供统一、可靠的分析依据。该标准亦服务于国家政策导向，包括《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中关于“制造业高端化领域材料标准”的建设要求，以及《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》中“特种气体”新材料的发展目标。

2范围与主要技术内容

2.1范围

本文件规定了使用傅里叶红外光谱法测定电子气体中酸度的完整方法，适用于半导体、光伏、显示面板等行业用高纯电子气体（如氮气、氩气、氦气等）中酸性杂质的检测。检测浓度范围为100×10??至20×10??（摩尔分数）。

2.2主要技术内容

标准文本涵盖以下核心章节：

1.原理：基于红外吸收光谱特性，通过特征吸收峰面积或强度与浓度的定量关系计算酸度。

2.试验条件：明确环境温湿度、光路稳定性及仪器校准要求。

3.试剂与材料：规定标准气体、载气（如高纯氮气）的纯度要求。

4.仪器设备：包括傅里叶红外光谱仪、气体采样池、流量控制器等的技术参数。

5.采样：规范采样方式、管路清洗及避免污染的措施。

6.试验步骤：详细描述仪器校准、样品测定、空白试验等操作流程。

7.数据处理：定义光谱分析、基线校正、浓度计算及不确定度评估方法。

8.精密度：通过实验室间比对确定方法的重复性与再现性。

9.质量控制与保证：包括标准气体使用、仪器定期校验及数据验证要求。

10.试验报告：规定报告需包含样品信息、检测结果、测量不确定度及异常情况说明。

3介绍修订的企事业单位或标委会

全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）是本标准的主要起草单位之一。该委员会成立于1990年，主要负责半导体制造设备、材料及相关工艺技术的国家标准制修订工作。委员会下设多个分